作為日本老牌離心設備品牌，KOKUSAN科庫森旗下SPD-180自轉(zhuǎn)式、H840SA對向式是目前半導體行業(yè)應用的兩款原裝遠心干燥機。本文從工作原理、核心性能、適用產(chǎn)線、現(xiàn)場工況拆解，幫助產(chǎn)線快速精準選型，避免設備錯配、良率下降、產(chǎn)能不足等問題。

名詞科普：遠心干燥機=離心干燥機

日系圖紙、設備銘牌標注的遠心乾燥機，中文統(tǒng)一為離心干燥機，俗稱晶圓甩干機。

區(qū)別于加熱型螺旋干燥機，兩款設備均采用純物理離心脫水，無高溫烘烤、無熱風二次污染，不損傷晶圓光刻膠、外延鍍膜與精密基板，適配半導體無塵車間Class100潔凈標準。

核心工作原理差異（本質(zhì)區(qū)別）

SPD-180 自轉(zhuǎn)式離心干燥機，這是一款作為半導體產(chǎn)業(yè)用晶圓干燥裝置擁有許多實績的設備。
通過離心力和ULPA過濾器的氣流，將工作部件保持在清潔的水切割干燥狀態(tài)。

采用單花籃一體式同向自轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，整個料架跟隨主軸高速同向旋轉(zhuǎn)，離心力高度集中，剝離能力更強。搭配觸控可編程系統(tǒng)，可自定義加減速、運行時長，柔性適配不同材質(zhì)晶片脫水需求，適合精細化干燥場景。

H840SA 對向式離心干燥機，

這是一款作為半導體產(chǎn)業(yè)用晶圓干燥裝置擁有許多實績的設備。

通過離心力和氣流將工件清潔并進行水切干燥。通過提升機構(gòu)，自動提升提升架。

采用雙花籃左右反向?qū)D(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，兩側(cè)轉(zhuǎn)子產(chǎn)生的離心力相互抵消，從源頭抑制設備震動。設備運行平穩(wěn)、無需加固地腳，搭配自動升降搖籃，適配產(chǎn)線自動化對接，主打7×24小時不間斷穩(wěn)定量產(chǎn)。