摘要

德國ATL Lasertechnik GmbH擁有超過二十年小型化準分子激光器研發(fā)經(jīng)驗，產(chǎn)品線以ATLEXI系列為核心，涵蓋ATLEX-LR、ATLEX-FBG系列，支持157?nm至351?nm波段輸出。ATLEX-I系列具有全固態(tài)開關、全金屬陶瓷管路和5–8?ns短脈沖等特征[1]。本文重點介紹其在LA-ICP-MS取樣、MALDI-MS成像、單顆粒氣溶膠TOFMS、APLI等質(zhì)譜領域的應用。

1.引言

激光燒蝕電感耦合等離子體質(zhì)譜（LA-ICP-MS）是固體樣品直接進行元素與同位素分析的重要手段。德國ATL公司的ATLEX-193深紫外（DUV）波段193?nm  ArF氟化氬準分子激光作為紫外激光燒蝕取樣技術的優(yōu)選光源，其原因來源于多個方面：

激光波長： 193nm的激光波長是大氣環(huán)境工作條件常用激光器的最短波長，193nm波長對應的光子能量是6.4eV，超過絕大多數(shù)分子鍵的鍵能，可以輕松的將樣品分子鍵打斷，當物質(zhì)吸收了這種高能光子后，化學鍵瞬間斷裂，斷鍵剩余的光子能量會使靶部位的分子碎片以超音速噴射出來。這種機制不同于依靠高溫熔化再汽化物質(zhì)的“熱效應解附”，它能實現(xiàn)高精度高均勻度的“冷剝蝕”。冷剝蝕濺射出的氣溶膠顆粒細小且由于熱效應小就規(guī)避了元素的分餾效應。另外對于絕大多數(shù)材料而言，波長越短則光子能深入樣品的穿深越淺，這樣每發(fā)深紫外激光脈沖剝離的樣品厚度既均勻且可控，能出色的完成逐層剝離的工作，如此不僅可做到高精度x-y軸二維空間掃描，還可實現(xiàn)z軸縱深層析掃描。

平頂光斑： 準分子激光器原始出射光斑就是平頂光斑，意味著作用在剝蝕點上的能量密度高度均勻，避免其他種類高斯光束造成的中央過剝蝕和邊緣欠剝蝕問題。圖1為ATLEX-193準分子激光器的出射平頂光斑，光斑尺寸為4x6mm,發(fā)散角為1x2 mrad； 圖2為增加外光路小孔光闌后的圓形平頂激光光斑，當然也可更換矩形小孔光闌而得到矩形平頂光斑。再于光路中增加聚焦鏡，結(jié)合其193nm短波長的優(yōu)勢，則極限可做到亞微米級別的工作光斑大小。對OEM用戶而言，較常見的選擇是作用到樣品上實現(xiàn)在2um到400um大小可變的平頂光斑可調(diào)。（之所以一般不選擇聚集到1um或亞微米的衍射極限是因為采樣面積越小則可剝離的樣品量就越少，這是一個采譜信噪比和空間分辨率的平衡）

圖3.ATLEX-193激光剝蝕鋯石靶材后不同尺寸剝蝕坑的電鏡圖，可見坑底和坑邊都保持良好均勻度

高能量穩(wěn)定性 ：ATL所有系列均配備能量穩(wěn)定模式，脈沖脈沖能量波動<3%。該模式通過實時監(jiān)測每個脈沖的能量并與設定值進行閉環(huán)比較，主動調(diào)節(jié)放電電壓以補償波動，從而實現(xiàn)高穩(wěn)定性輸出。對于基質(zhì)輔助激光解吸電離質(zhì)譜（MALDI-MS）和光解離串聯(lián)質(zhì)譜，穩(wěn)定的激光能量直接轉(zhuǎn)化為碎片離子產(chǎn)額的重現(xiàn)性，確保肽段測序和生物標志物定量的可靠性。

高重復頻率（最高1000?Hz） ：常規(guī)系統(tǒng)300Hz或500Hz重復頻率；ATLEX-1000-I型可實現(xiàn)1000?Hz重復頻率輸出，搭配快速掃描臺或電感耦合等離子體飛行時間質(zhì)譜（ICP-TOF-MS），理論像素采集速率可達1000像素/秒，極大提升了元素成像和高通量篩選的效率。

全風冷設計與全固態(tài)高壓開關，免維護運行：ATL所有系列均標配風冷（可選液冷），顯著降低系統(tǒng)復雜性和長期運行成本。全固態(tài)高壓開關無磨損部件，結(jié)合全金屬陶瓷管路（TMC）和軟電暈預電離技術，氣體壽命長，維護間隔可達數(shù)月，且可培訓客戶自主常規(guī)維護。

緊湊結(jié)構(gòu)與易集成性：ATLEX-I激光頭體積<3?L，整機尺寸540×470×370?mm（電腦機箱大?。?，重量60?kg，配有多種標準通信接口（RS485、RS232、USB、光纖），可輕松集成到商用質(zhì)譜儀器或定制化實驗平臺中。

圖4.用戶選擇ATLEX-193做為激光剝離設備核心光源

2. ATL全系列激光器產(chǎn)品概覽

ATL公司以小型化、風冷、高重復頻率準分子激光器著稱。產(chǎn)品采用軟電暈預電離、全固態(tài)高壓脈沖發(fā)生器、激光頭容積<3?L、全金屬-陶瓷管路（TMC）等一系列創(chuàng)新設計，以滿足工業(yè)級應用的嚴苛需求。ATL激光器提供以下系列^[3]：

（1）ATLEX-I系列 ：標準型，分為ATLEX-300-I（300?Hz）、ATLEX-500-I（500?Hz）和ATLEX-1000-I（1000?Hz）三個型號，支持F?（157?nm）、ArF（193?nm）、KrF（248?nm）、XeCl（308?nm）、XeF（351?nm）五種波長輸出。

（2）ATLEX-LR系列：專為激光剝蝕優(yōu)化的高能量系統(tǒng)，193?nm輸出，脈沖能量高達12?mJ（穩(wěn)定模式4?mJ），脈沖寬度<5?ns，上升沿極快，專為激光燒蝕電感耦合等離子體質(zhì)譜（LA-ICP-MS）設計。

（3）ATLEX-FBG系列：專為光纖布拉格光柵刻寫設計，提供ATLEX300FBG和ATLEX500FBG兩個型號。

3.ATL準分子激光器在質(zhì)譜分析中的主要應用

3.1 激光燒蝕電感耦合等離子體質(zhì)譜（LA-ICP-MS）

激光燒蝕電感耦合等離子體質(zhì)譜（LA-ICP-MS）是目前固體樣品微區(qū)元素及同位素分析的主流技術。ATL系列的短脈沖激光已被廣泛應用于各類分析工具中，例如連接激光燒蝕電感耦合等離子體質(zhì)譜（LA-ICP-MS）/電感耦合等離子體質(zhì)譜（ICP-MS）光譜分析的高通量準分子激光燒蝕系統(tǒng)^[3]。ATL公司早在1996年就已將ATLEX激光器集成到Optec的MicroMaster微加工工作站中，時至今日，ATL緊湊型準分子激光已成功集成到多家激光系統(tǒng)制造商的主流激光燒蝕電感耦合等離子體質(zhì)譜（LA-ICP-MS）系統(tǒng)中，確立了在激光燒蝕元素分析領域的地位^[3]。

ATLEX-I系列的193?nm波長深紫外激光是激光燒蝕電感耦合等離子體質(zhì)譜（LA-ICP-MS）的理想光源。對于更高能量要求的剝蝕應用，ATLEX-LR系列提供12?mJ脈沖能量（穩(wěn)定模式4?mJ）和<5?ns的脈寬，其極快的脈沖上升沿和高峰值功率有助于提高剝蝕顆粒的氣溶膠化效率，減少元素分餾效應^[3]。

圖5：準分子激光剝蝕電感耦合等離子體質(zhì)譜與光譜聯(lián)用分析儀結(jié)構(gòu)示意圖

3.1.1 高空間分辨率元素成像

Doble等人2021年發(fā)表于Chemical Reviews的綜述系統(tǒng)回顧了激光燒蝕電感耦合等離子體質(zhì)譜（LA-ICP-MS）成像技術在生物學中的應用，涵蓋癌癥分析、元素吸收積累、植物生物成像、環(huán)境納米材料及神經(jīng)科學等領域^[6]。該綜述表明，具有高峰值功率密度的193?nm準分子激光燒蝕系統(tǒng)是目前實現(xiàn)高空間分辨率（典型值5–10?μm，前沿研究可達亞微米級）元素成像的關鍵工具^[6]。ATLEX-I系列以其穩(wěn)定的短脈沖輸出和高重復頻率（最高1000?Hz），可實現(xiàn)大面積高分辨率元素分布圖的快速構(gòu)建。

在成像速度方面，2025年Basabe-Mendizabal等人的研究展示了納秒193?nm ArF基kHz激光器與低色散管狀燒蝕池聯(lián)用，配合電感耦合等離子體飛行時間質(zhì)譜（ICP-TOF-MS）分析儀，單脈沖響應持續(xù)時間低于1?ms，理論像素采集速率可達1000?像素/秒^[5]。中國科學院高能物理研究所王萌研究員團隊引入新一代電感耦合等離子體飛行時間質(zhì)譜（ICP-TOF-MS）系統(tǒng)（icpTOF 2R），結(jié)合193?nm準分子激光高速燒蝕系統(tǒng)，將成像速度提升1–2個數(shù)量級，空間分辨率可達1?μm^[7]。

3.1.2 地質(zhì)年代學與礦物分析

激光燒蝕電感耦合等離子體質(zhì)譜（LA-ICP-MS）在地球科學領域有著深厚而廣泛的應用，ATL激光器廣泛應用于材料科學、地質(zhì)學、巖石學和生命科學領域^[3]。準分子激光燒蝕系統(tǒng)可與主流電感耦合等離子體質(zhì)譜（ICP-MS）質(zhì)譜儀配合使用，采用193?nm紫外激光聚焦照射樣品，以高峰值功率進行激光燒蝕，形成分析物后由載氣輸送到電感耦合等離子體質(zhì)譜（ICP-MS）分析^[8]。激光光斑尺寸可從2?μm至380?μm靈活調(diào)節(jié)，可對鋯石、獨居石、斜鋯石、金紅石、楣石、磷釔礦等獨立礦物或拋光薄片進行U-Th-Pb地質(zhì)年代學原位分析。

3.1.3 單細胞分析與金屬納米顆粒定量

激光燒蝕電感耦合等離子體質(zhì)譜（LA-ICP-MS）已發(fā)展成為單個細胞元素定量分析的工具。2025年發(fā)表的一項研究提出了一種新穎的顆粒質(zhì)量校準策略，用于通過激光燒蝕電感耦合等離子體質(zhì)譜（LA-ICP-MS）定量分析單個癌細胞中的金納米顆粒（AuNPs），該方法在三個月內(nèi)三個獨立工作批次證明了更好的準確性和重復性^[9]。此外，該團隊還利用電感耦合等離子體飛行時間質(zhì)譜（ICP-TOF-MS）的快速分析優(yōu)勢，實現(xiàn)了單個細胞內(nèi)金納米顆粒和銀等納米顆粒的絕對定量，并開發(fā)了元素指紋-源解析模型，通過分析大氣顆粒物中的“元素指紋”辨析大氣顆粒物的工業(yè)污染源與天然來源^[7]。

3.2 能保持90%蛋白質(zhì)完整轉(zhuǎn)移率的微區(qū)激光剝蝕取樣

193nm深紫外激光剝蝕取樣技術常規(guī)的理解是光子能量高，是很難做到在保持蛋白質(zhì)分子完整的條件下剝蝕樣品的。如圖6. Murray小組將牛血清蛋白質(zhì)樣品以約50um厚度涂敷于熔融石英載玻片后，再底部翻轉(zhuǎn)朝上，193nm激光穿透石英玻璃載玻片，打在50um蛋白質(zhì)樣本的背面，此脈沖激光擊碎了約幾微米的一層蛋白質(zhì)，這些被擊碎的蛋白質(zhì)碎片充當了“被犧牲的基質(zhì)”，將貼在上層的>90%的完整蛋白質(zhì)解附出來，可用于后續(xù)的質(zhì)譜檢測^[2]。為了驗證此深紫外激光背向剝蝕法可保持多數(shù)蛋白質(zhì)的完整，Murray小組收集這些解附掉落的蛋白質(zhì)重新溶解，接入LC-MS/MS液相質(zhì)譜與質(zhì)譜聯(lián)用系統(tǒng)分析,驗證了保持完整轉(zhuǎn)移的牛血清蛋白。

圖6：準分子激光背向剝蝕采樣法

另外演示了使用193?nm ArF準分子激光對腦組織切片進行微區(qū)燒蝕，獲得了空間定位明確的蛋白質(zhì)表達圖譜^[2]。

核心實驗數(shù)據(jù)：

完整蛋白質(zhì)捕獲率：1）對50um厚牛血清白蛋白（BSA）標準品進行193?nm激光燒蝕，在0.3?J/cm2激光通量下，蛋白質(zhì)完整轉(zhuǎn)移率達到約90%。

2）對50?μm厚度大鼠腦組織燒蝕取樣，獲得每平方毫米約2?μg蛋白的收率。

高空間分辨鑒定：0.06?mm2極小組織區(qū)域中鑒定出約85種蛋白質(zhì)；1?mm2區(qū)域中掃描鑒定出約2400種蛋白質(zhì)。

圖7.經(jīng)193 nm 激光剝蝕后的仍保持完整的牛血清蛋白

3.3 真空紫外激光電離157nm與大氣環(huán)境激光電離193nm

193?nm ArF準分子激光因很高的單光子能量，可從硬組織、不溶性聚合物等特殊樣品中直接電離分析物。

193?nm波長還被廣泛用于串聯(lián)質(zhì)譜中肽段離子的光解離測序。193?nm準分子激光光解離與基質(zhì)輔助激光解吸電離飛行時間/飛行時間質(zhì)譜（MALDI-TOF/TOF-MS）聯(lián)用可實現(xiàn)小到中等大小肽段的靈敏測序^[10]。在激光解吸后電離（LDPI）方向，ATLEXI的157?nm F?準分子激光（7.87?eV）可進行真空紫外單光子電離（VUV-SPI），在高鹽環(huán)境樣品分析中可避免基質(zhì)干擾。在大氣壓激光電離（APLI）技術中，Bruker Daltonics開發(fā)的大氣壓激光電離（APLI）源采用ATLEXI系列激光器進行兩步吸收電離，對多環(huán)芳烴（PAH）檢測在1?ppb濃度下信噪比>100:1。

3.4 單顆粒氣溶膠飛行時間質(zhì)譜（LAAPTOF）

ATLEXI系列已被集成到激光燒蝕氣溶膠飛行時間質(zhì)譜（LAAPTOF）系統(tǒng)中，對每個氣溶膠顆粒記錄粒徑及正負離子飛行時間質(zhì)譜（TOF-MS）。系統(tǒng)可有效傳輸粒徑達2.5?μm的顆粒物，最高分析頻率300?Hz，可區(qū)分氣溶膠顆粒的內(nèi)部混合和外部混合狀態(tài)，應用于環(huán)境氣溶膠分析、實驗室氣溶膠表征、工業(yè)過程控制以及基礎科學研究^[3]。

圖8：LAAPTOF結(jié)構(gòu)示意圖

4.先鋒科技——ATL中國代理與專業(yè)技術服務體系

先鋒科技股份有限公司是德國ATL Lasertechnik GmbH在中國區(qū)域的代理。先鋒科技擁有一支經(jīng)ATL原廠培訓的專業(yè)技術服務團隊，可提供現(xiàn)場安裝調(diào)試、操作培訓；國內(nèi)設有核心備件庫存，實現(xiàn)快速響應（緊急故障48小時內(nèi)上門），并提供遠程與現(xiàn)場維修為國內(nèi)用戶從選型咨詢到售后維護提供全面保障。

5.總結(jié)與展望

ATL公司產(chǎn)品線覆蓋標準型ATLEX-I、激光剝蝕專用ATLEX-LR及光纖光柵刻寫專用ATLEX-FBG，支持157?nm至351?nm多波長輸出。其中ATLEX-I系列以超短脈沖寬度（5–8?ns）、優(yōu)異能量穩(wěn)定性（<3%）、全風冷緊湊結(jié)構(gòu)及平頂光束，為LA-ICP-MS元素成像、MALDI-MS組織定位、生物分子微區(qū)取樣及單顆粒氣溶膠分析等質(zhì)譜應用提供了高品質(zhì)紫外光源。最新研究證明193?nm準分子激光燒蝕系統(tǒng)正推動元素成像向高通量（1000像素/秒）和高分辨率（≤1?μm）邁進。

隨著空間蛋白質(zhì)組學、單細胞分析和原位元素成像等前沿領域的發(fā)展，對緊湊型、高重頻深紫外準分子激光器的需求將持續(xù)增長。ATL全系列產(chǎn)品依托德國技術，結(jié)合先鋒科技的專業(yè)技術服務與快速響應保障，將為國內(nèi)用戶提供從選型到維護的全面支持。

參考文獻

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[2] Lawal RO, Richardson LT, Dong C, et al. Deepultraviolet laser ablation sampling for proteomic analysis of tissue. Analytica Chimica Acta, 2021, 1184: 339021.

[3] ATL Lasertechnik GmbH. Analytical Applications：High Resolution LAICPMS Systems. https://atl-laser.de/analytical.html

[4] 先鋒科技股份有限公司. 德國ATL Lasertech準分子激光器ATLEXI. https://teo.com.cn/show/278/827.html

[5] Basabe-Mendizabal I, Maeda R, Goderis S, Vanhaecke F, Van Acker T. Boosting the Pixel Acquisition Rate of Elemental Mapping with Laser Ablation-ICP-Mass Spectrometry to 1000 Hz. Analytical Chemistry, 2025, 97(12): 6481–6488.

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