GB/T 46697-2025 電子級八甲基環(huán)四硅氧烷

范圍
本文件規(guī)定了半導體行業(yè)用電子級八甲基環(huán)四硅氧烷的技術要求、檢驗規(guī)則、包裝、標志、隨貨資料、運輸、貯存及安全警告的要求，描述了對應的檢測方法。
本文件適用于沉積氧化硅、碳氧摻雜硅、碳化硅等硅基膜的電子級八甲基環(huán)四硅氧烷，以其優(yōu)異的絕緣性和耐高溫性在半導體領域用作封裝隔離層、集成電路絕緣層和介電層等。

術語和定義
本文件沒有需要界定的術語和定義。

技術要求
電子級八甲基環(huán)四硅氧烷應符合表1的規(guī)定。|




檢測方法
水分含量的測定
所用微量水分測定儀應符合 GB/T 26793 規(guī)定，測定方法應按 GB/T 6324.8 中的規(guī)定執(zhí)行。
可采用其他等效的方法測定八甲基環(huán)四硅氧烷中水含量。當測定結果有異議時，以 GB/T 6324.8 規(guī)定的方法為仲裁方法。
GB/T 26793-2011 庫侖法微量水分測定儀
GB/T 6324.8-2014 有機化工產品試驗方法 第8部分: 液體產品水分測定 卡爾·費休庫侖電量法


京都電子KEM 卡爾費休庫侖電量法水分測定儀 MKC-710S