玉崎代理??!微型液體流量計 μLF-300S
SONIC索尼克 微型液體流量計 μLF-300S(分體式傳感器)
用于半導(dǎo)體制造過程中涉及異丙醇、純水、化學(xué)品等的微流量控制。特點包括
:微流量測量低至 1 ml/min
;采用數(shù)字信號處理進(jìn)行高精度微流量測量
;非接觸式傳感器結(jié)構(gòu)
;以及寬范圍測量能力。
| 模型 | μLF-300S + μLT-8I(1/8 英寸)或 μLF-300S + μLT-4I(1/4 英寸) |
| 測量原理 | 超聲波傳播時間差法 |
| 待測量的液體 | 純水、水溶液、各種化學(xué)溶液 * 如果使用水以外的液體,請事先確認(rèn)。 |
| 適用流體溫度范圍 | 15℃至80℃ * 如果在60℃以上的溫度下使用,請事先檢查。 |
| 流體壓力 | 0.5兆帕或更低 |
| 流體運動粘度 | 100mm2/秒或更小 |
| 流速范圍 | 0 ml/min ~ 1000 ml/min (μLF-300S + μLT-8I) 0 ml/min ~ 4000 ml/min (μLF-300S + μLT-4I) |
| 測量精度 | ±0.5%RD(1/8 英寸:200–1000 毫升/分鐘,條件:室溫,恒溫水) ±1 毫升/分鐘(1/8 英寸:0–199 毫升/分鐘) ±0.5%RD(1/4 英寸:800–4000 毫升/分鐘,條件:室溫,恒溫水) ±4 毫升/分鐘(1/4 英寸:0–799 毫升/分鐘) |
| 重復(fù)性 | ±0.2%(純液體,溫度±0.5℃,30秒平均值) |
| 電源 | 直流24V±10% |
| 功耗 | 3.6瓦或更低 |
| 重量 | 轉(zhuǎn)換器 240 克,檢測器 70 克 |
| 尺寸(寬x高x深,單位:毫米) | 轉(zhuǎn)換器:97 x 49 x 127 毫米 ;探測器:90 x 25 x 20 毫米(不含電子管) |
| 檢測單元 | |
| 管材 | PFA(氟聚合物) |
| 管徑 | 1/8 英寸外徑:3.17 毫米,內(nèi)徑:2.17 毫米;1/4 英寸外徑:6.35 毫米,內(nèi)徑:4.35 毫米 |
| 結(jié)構(gòu) | IP65 等效 |
| 附帶電纜 | 5米,連接器連接 |
| 輸入部分 | |
| 數(shù)字輸出 | 4線RS-422,4線RS-485 |
| 模擬輸出 | 4-20mA(瞬時電流),負(fù)載電阻500Ω或更低 |
| 集成脈沖輸出 | 1通道(開集電極) |
| 報警輸出 | 1通道(開集電極) |
| 聯(lián)系輸入 | 1通道(零流量設(shè)置或累積清除) |
| 關(guān)鍵輸入 | 4 個輸入按鈕 |
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