自補(bǔ)償半導(dǎo)體應(yīng)變片的溫度補(bǔ)償精度能達(dá)到什么級(jí)別
自補(bǔ)償半導(dǎo)體應(yīng)變片溫度補(bǔ)償精度分級(jí)(分兩類:單摻雜 P 自補(bǔ)償、P/N 雙元件自補(bǔ)償)
一、核心衡量兩個(gè)指標(biāo)
零點(diǎn)溫漂(熱輸出):με/℃ 或 % FS/℃
靈敏度(靈敏系數(shù) K)溫漂:% FS/℃、%/℃
補(bǔ)償精度只在廠家標(biāo)定窄溫區(qū)間達(dá)標(biāo),超溫區(qū)誤差大幅惡化。
二、1)單摻雜 P 型自補(bǔ)償片(低成本主流款)
常溫標(biāo)定區(qū)間(0~60℃,匹配對(duì)應(yīng)鋼材基材)
零點(diǎn)溫漂:±(2~5) με/℃,折合 0.08~0.25 %FS/℃
靈敏度溫漂:-0.10~-0.18 %/℃(每升高 1℃靈敏度下降 0.1%~0.18%)
全溫域綜合溫度誤差:±0.3%~±0.8%FS
精度等級(jí):0.5 級(jí)~1.0 級(jí),普通工業(yè)監(jiān)測(cè)、簡易測(cè)力夠用。
超出標(biāo)定溫區(qū)(-20℃以下 / 80℃以上)
三、2)P+N 雙元件組合自補(bǔ)償片(高精度自補(bǔ)償款)
標(biāo)稱工作溫區(qū)(-20~80℃)
零點(diǎn)溫漂:±0.5~2 με/℃,折合 0.02~0.1%FS/℃
靈敏度溫漂:-0.03~-0.08 %/℃
區(qū)間內(nèi)綜合溫度總誤差:±0.1%~±0.3%FS
精度等級(jí):0.2 級(jí)~0.3 級(jí),實(shí)驗(yàn)室小型測(cè)力、微型壓力元件常用。
極限表現(xiàn)(優(yōu)化貼片 + 恒流半橋配套)
四、對(duì)比無補(bǔ)償裸半導(dǎo)體應(yīng)變片(參考)
五、上限短板:自補(bǔ)償無法達(dá)到高精度計(jì)量級(jí)
自補(bǔ)償是單點(diǎn)靜態(tài)匹配,高低溫非線性殘余誤差無法che底消除;
熱膨脹失配、粘接殘余應(yīng)力會(huì)持續(xù)引入附加溫漂;
想要達(dá)到 0.05 級(jí)及以上,必須疊加:恒流電路 + 全橋結(jié)構(gòu) + 軟件分段溫度補(bǔ)償。
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