ULVAC愛發(fā)科通過采用DC無刷電機(jī)羅茨泵MBS-053的操作使用

機(jī)械增壓泵是一種可以顯著提高抽速的泵。

通過與油回轉(zhuǎn)真空泵或干泵等低真空泵組合，可以在低真空泵抽速降低的壓力范圍內(nèi)顯著提高抽速。

應(yīng)用于半導(dǎo)體加工、真空蒸餾、真空包裝、脫氣、薄膜、真空冶金、低密度風(fēng)洞實驗、空間開發(fā)、真空浸漬、真空干燥等眾多領(lǐng)域。

機(jī)械增壓泵在殼體內(nèi)有兩個繭形轉(zhuǎn)子，進(jìn)入軸端部的驅(qū)動齒輪并沿相反方向同步旋轉(zhuǎn)。從進(jìn)氣口進(jìn)入的氣體被截留在機(jī)殼和轉(zhuǎn)子之間的空間中，隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，被排出到排氣口側(cè)，然后由后級的輔助泵釋放到大氣中。

轉(zhuǎn)子在保持小間隙（0.1至0.3毫米）的情況下旋轉(zhuǎn)，彼此或外殼不接觸，并輸送氣體，因此轉(zhuǎn)子室內(nèi)不需要潤滑油。因此，能夠油蒸氣污染少的真空排氣。

•低功耗

•使用磁性聯(lián)軸器無漏油

•體積小巧，重量輕

•可在大氣壓下啟動

•100V系統(tǒng)與220V系統(tǒng)下須設(shè)置驅(qū)動回路

特點

小型羅茨式真空泵。

在排氣速度下降的壓力范圍，內(nèi)置的輔助泵可以使排氣速度有提升。

通過采用DC無刷電機(jī)，可以根據(jù)負(fù)載以轉(zhuǎn)速運行，因此可以從大氣壓力開始抽真空。

磁耦合結(jié)構(gòu)，油不會泄漏到泵的外部。

泵的內(nèi)部密封采用非接觸式密封，可顯著減少機(jī)械損失。（與舊型號相比，功耗降低約60％）

通過切換驅(qū)動器箱內(nèi)的電源，可以在100V系統(tǒng)和200V系統(tǒng)下運行。