中崎優(yōu)勢有售日本MIYUKI美幸輝GAR-J300電動真空壓力控制蝶閥
日本 MIYUKI 美幸輝 GAR-J300 電動真空壓力控制蝶閥
參數(shù)
適用壓力區(qū)間:大氣壓 10? Pa ~ 高真空 10?? Pa
閥座內(nèi)部泄漏率:≤1×10?? Pa?m3/s
傳動軸外部泄漏率:≤1×10?1? Pa?m3/s(超高真空級別)
密封材質(zhì):FKM 氟橡膠 O 型圈,低釋氣、耐工藝氣體腐蝕
過流接觸材質(zhì):閥體 / 閥盤全 SUS304 不銹鋼,電解拋光潔凈內(nèi)腔,低顆粒析出

特點
0~100% 線性開度連續(xù)可調(diào),可全程節(jié)流調(diào)節(jié)(全關(guān)→全開)
配套 MIYUKI MS-VP2.0 真空壓力控制器,實現(xiàn)真空度閉環(huán)自動穩(wěn)壓
響應(yīng)速度快,適配刻蝕、鍍膜動態(tài)工藝壓力波動補償
閥位實時電壓輸出,可接入上位機記錄工藝曲線
應(yīng)用場景
半導(dǎo)體刻蝕、薄膜沉積設(shè)備主真空節(jié)流調(diào)壓
光學(xué)鍍膜、電子束蒸發(fā)、同步輻射科研真空腔體
光伏、鋰電真空制程、高純特種氣體管路壓力穩(wěn)定
超高真空實驗室精密壓力控制系統(tǒng)

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