適用于光學(xué)薄膜生產(chǎn)的高通用性電子槍ULVAC愛(ài)發(fā)科EGO-1G的操作應(yīng)用
適用于光學(xué)薄膜生產(chǎn)的高通用性電子槍ULVAC愛(ài)發(fā)科EGO-1G的操作應(yīng)用
這款高度可靠的 EB 噴槍基于 ULVAC 多年的技術(shù),專(zhuān)為光學(xué)領(lǐng)域而開(kāi)發(fā)。
特點(diǎn)
由于電子束被電磁場(chǎng)偏轉(zhuǎn),因此二次電子對(duì)沉積體的影響小。
即使是可升華的材料,也可以通過(guò)掃描 X 軸和 Y 軸上的光束點(diǎn)來(lái)順利蒸發(fā),從而減少挖洞現(xiàn)象。
電子束是 270° 偏轉(zhuǎn)的,因此不會(huì)暴露在蒸發(fā)材料的蒸氣中,燈絲的使用長(zhǎng)。
發(fā)射器組件易于安裝和拆卸,便于更換燈絲、絕緣體等。

1952年創(chuàng)業(yè)時(shí)的愛(ài)發(fā)科,是年輕的技術(shù)人員本著"用真空技術(shù)為產(chǎn)業(yè)和科學(xué)的發(fā)展做貢獻(xiàn)"的初衷。
自成立至今,一直秉承創(chuàng)業(yè)精神,除了在液晶平板顯示、半導(dǎo)體、電子元件等領(lǐng)域,以及包括汽車(chē)、食品、醫(yī)藥品等行業(yè)的一般工業(yè)設(shè)備領(lǐng)域,與客戶(hù)共享的真空技術(shù),不斷創(chuàng)新,創(chuàng)造新的價(jià)值。
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