玉崎代理??!OTSUKA大塚電子嵌入式薄膜厚度監(jiān)測器
嵌入式薄膜厚度監(jiān)測器
嵌入式薄膜厚度監(jiān)測器是一款專為工業(yè)產線設計的非接觸、高精度、可集成式光學測量設備,核心用于實時在線監(jiān)測各類薄膜厚度與光學常數(shù),廣泛適配半導體、顯示面板、光學鍍膜、光伏、柔性材料等制程場景。
利用光譜干涉法測量薄膜厚度
配備高精度FFT薄膜厚度分析引擎(4834847)
光纖使得構建靈活的測量系統(tǒng)成為可能。
可集成到各種生產設備中。
可以進行實時薄膜厚度測量。
支持遠程控制和多點測量。
采用長壽命、高穩(wěn)定性白色LED光源。
現(xiàn)在可以對具有波長依賴性的多層薄膜進行高精度測量了
光學薄膜(硬涂層、增透膜、ITO膜等)
FPD相關材料(光刻膠、SOI、SiO2等)
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