USHIO光學(xué)測量技術(shù)——紫外照度計(jì)與受光器探頭的精密測量方案

在半導(dǎo)體制造、紫外固化和精密光學(xué)檢測等領(lǐng)域，對紫外光能量的精準(zhǔn)度量是保障工藝一致性、提升產(chǎn)品質(zhì)量的核心前提。USHIO的UIT系列紫外積分照度計(jì)及受光器探頭，已成為工業(yè)界高精度光輻射測量的事實(shí)標(biāo)準(zhǔn)。

USHIO受光器的核心原理基于光電效應(yīng)，通過前端光學(xué)透鏡聚焦以提高光收集效率并確定視場角，再由核心光敏半導(dǎo)體元件將光子能量激發(fā)為與光強(qiáng)成正比的微弱電流信號，完成光信號到電信號的高保真轉(zhuǎn)換。UIT-250系列主機(jī)作為數(shù)據(jù)顯示、記錄和控制的中央單元，通過更換不同受光器探頭可適應(yīng)不同波長和安裝場景的測量需求，采用模塊化設(shè)計(jì)的探頭分為分體型（S）和一體型（C）兩類，分體型通過線纜連接適用于高溫、狹窄空間等惡劣環(huán)境。

該系列受光器采用特殊的紫外傳感元件和濾波片組合，紫外靈敏度劣化速度降至以往產(chǎn)品的十分之一，保證了長期測量穩(wěn)定性。主機(jī)功能支持實(shí)時(shí)照度、峰值照度、積分光量、照度分布乃至溫度分布的測量，內(nèi)置存儲(chǔ)器可記錄長達(dá)4分鐘的連續(xù)數(shù)據(jù)，并通過串行通信實(shí)現(xiàn)PC端數(shù)據(jù)深度分析。從半導(dǎo)體光刻機(jī)曝光能量均勻性檢測，到UV LED固化工藝中照度實(shí)時(shí)監(jiān)測，USHIO受光器為化工與微納加工領(lǐng)域的紫外工藝提供了精準(zhǔn)可靠的度量工具。