USHIO閃光燈與鹵素?zé)粼诎雽?dǎo)體熱處理中的應(yīng)用

在半導(dǎo)體制造的熱處理環(huán)節(jié)，精準(zhǔn)的溫控和高效的熱能傳輸是保證工藝一致性的關(guān)鍵。

USHIO提供的閃光燈和鹵素?zé)舢a(chǎn)品，為半導(dǎo)體熱制程提供了從紫外到紅外全波段的光學(xué)熱解決方案。

USHIO閃光燈采用脈沖氙燈光源，可對多種敏感基板進行高能量密度輻照，配合172nm波長的高準(zhǔn)直光線，可用于微型精密電路的制造。

USHIO鹵素?zé)魟t廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓加熱、快速熱退火及鍵合工藝中，通過將電能高效轉(zhuǎn)化為紅外輻射熱能，實現(xiàn)對半導(dǎo)體材料精準(zhǔn)、均勻的加熱。

在光刻環(huán)節(jié)之外，USHIO的光源還可用于半導(dǎo)體可視化檢測和液流分布觀察等工業(yè)應(yīng)用。

通過將傳統(tǒng)照明光源與智能成像技術(shù)結(jié)合，USHIO為半導(dǎo)體制造過程中的過程監(jiān)控和良率分析提供了新的技術(shù)手段。

憑借在特種光源領(lǐng)域深厚的技術(shù)積累，USHIO在功率半導(dǎo)體、光半導(dǎo)體、IC封裝基板等細(xì)分市場占據(jù)重要份額，是臺積電、三星、應(yīng)用材料等國際半導(dǎo)體的核心光源供應(yīng)商。