手機版
化工儀器網(wǎng)手機版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關注視頻號
半導體超純水制備安特藍德UV系統(tǒng)綠色處理解決方案
芯片制造，水為命脈。一顆指甲蓋大小的芯片，從晶圓清洗到蝕刻拋光，每道工序都離不開電阻率高達十八兆歐厘米以上的超純水。而水中殘存的微量有機物、微生物和氯胺，哪怕低至ppb級別，都足以讓整批晶圓報廢。安特藍德HOD紫外線系統(tǒng)，正是為解決這一命門而生的綠色利器。
安特藍德來自以色列，其核心HOD水光學消毒技術融合了中壓紫外線、光纖原理與水力學設計，在石英消毒室內(nèi)實現(xiàn)全內(nèi)反射，讓紫外線光子反復折射、均勻覆蓋每一滴水，滅活微生物的同時大幅降低能耗。相比傳統(tǒng)低壓紫外系統(tǒng)，中壓燈功率更強、燈管更少，維護成本顯著下降，且不受水溫影響，冷水溫水中均可高效運行。
在半導體超純水制備的終端環(huán)節(jié)，安特藍德UV系統(tǒng)承擔四大核心任務：微生物滅菌、去除總有機碳、破解臭氧、脫除氯和氯胺。系統(tǒng)無需任何化學藥劑，純物理方式即可完成全部處理，契合半導體行業(yè)對零化學污染的要求。配合實時雙傳感器監(jiān)控與智能軟件控制，系統(tǒng)可根據(jù)水質(zhì)波動自動調(diào)節(jié)燈管功率，在保證滅菌劑量的前提下將功耗壓至低。
更值得關注的是，安特藍德已深度參與中國國家重點研發(fā)計劃，與清華大學、中國電子工程設計院聯(lián)合攻關先進制程芯片用超純水TOC降解關鍵技術，致力于突破該領域長期被歐美日壟斷的技術瓶頸。目前其在華安裝設備已超千臺，廣泛服務于半導體、光伏、制藥等制造領域，以物理凈水之道，守護中國芯片產(chǎn)業(yè)的用水純度。
免責聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權或有權使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權使用作品的，應在授權范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關法律責任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關權利。
采購中心