一、核心參數(shù)

• 型號：W-357-1MQG-SKC（單晶石英振動(dòng)）

• 振蕩頻率：1MHz（高頻兆聲波）

• 額定輸出：12W（功率可調(diào)）

• 振蕩模式：單頻振蕩，頻率穩(wěn)定度＜0.1%

• 電源：AC100–240V，50/60Hz，300VA，全球通用

• 尺寸：180×250×100mm（不含突起）

• 重量：約 2.2kg，小巧好放

• 振動(dòng)體：單晶石英，接液僅石英玻璃，無橡膠溶出

• 冷卻：氮?dú)饫鋮s振子，連續(xù)工作不飄頻、不升溫

• 適配液體：各類半導(dǎo)體清洗藥液（酸 / 堿 / 溶劑均可）

二、優(yōu)勢

1. 單晶石英 + 1MHz 高頻，微污染洗得巨干凈

• 1MHz 屬于兆聲波級別，比普通 40kHz 超聲波細(xì)得多，能洗掉0.1μm 級微顆粒（普通機(jī)搞不定）。

• 單晶石英振動(dòng)體，能量傳導(dǎo)均勻、衰減小，整片晶圓清洗一致性好，邊緣 / 凹槽也能洗到。

• 只有石英玻璃碰藥液，無橡膠墊片 / 密封圈，杜絕溶出污染，半導(dǎo)體高潔凈場景剛需。

2. 低損傷！超薄 / 微結(jié)構(gòu)晶圓不怕壞

• 高頻 + 軟空化，沖擊力極小，3nm 制程、超薄晶圓、微小線路都不會洗崩、洗裂。

• 對比傳統(tǒng)流水 / 浸泡清洗，化學(xué)品用量省很多，環(huán)保又降成本。

3. 穩(wěn)到能 24 小時(shí)連開，產(chǎn)線放心用

• 氮?dú)饫鋮s振子，長時(shí)間工作頻率不飄、溫度不升，良率穩(wěn)定。

• 數(shù)字定功率控制，電壓 / 溫度波動(dòng)時(shí)輸出不變，清洗效果一致。

4. 操作簡單，數(shù)據(jù)可追溯

• 面板簡潔，功率 / 頻率一鍵設(shè)，開機(jī)自檢、故障報(bào)警，新手也能上手。

• 帶 RS-422A 接口，可連 PLC / 電腦，數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)監(jiān)控、可導(dǎo)出，符合半導(dǎo)體產(chǎn)線追溯要求。

三、適用場景

• 半導(dǎo)體：硅晶圓、藍(lán)寶石襯底、CMP 后殘留、光刻膠 / 聚合物去除、柵電極清洗。

• 精密光學(xué)：鏡頭、濾光片、棱鏡、鍍膜元件（微顆粒 / 指紋清洗）。

• 電子：MEMS、傳感器、微型線路板、引線框架（低損傷除污）。

• 材料：超薄玻璃、陶瓷薄片、金屬箔（無腐蝕、無損傷清洗）。

四、日常維護(hù)

• 石英振動(dòng)體：每次用完用超純水沖凈，軟布輕擦，避免硬物刮花。

• 冷卻系統(tǒng)：定期檢查氮?dú)鈮毫?，保證冷卻效果。

• 校準(zhǔn)：建議每半年做一次頻率 / 功率校準(zhǔn)，穩(wěn)定輸出。

• 存放：干燥無塵環(huán)境，長期不用斷電、蓋防塵罩。