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日本大塚電子OTSUKA SM-100 系列 便攜高精度膜厚計 簡介
SM-100 系列是日本大塚電子推出的手持款光譜膜厚儀，憑借無損檢測、精度高、上手簡單的特點，深受實驗室和生產(chǎn)現(xiàn)場認可，專門用來檢測各類薄膜、涂層厚度，光學(xué)、半導(dǎo)體、光伏行業(yè)日常質(zhì)檢、研發(fā)巡檢都在用。
一、技術(shù)規(guī)格
測量原理：白光反射分光干涉法，非接觸式檢測區(qū)分型號：SM-100S 標準版、SM-100P 專業(yè)版測量范圍：SM-100S 單層 1~50μm；SM-100P 單層 0.1~100μm，最多可測 3 層薄膜重復(fù)精度：可達 0.01μm，測量數(shù)據(jù)穩(wěn)定光斑尺寸：直徑≤1mm，狹小區(qū)域也能精準測量單次測量時長：1 秒快速出結(jié)果測頭設(shè)計：支持 270° 旋轉(zhuǎn)，多角度測量更靈活整機重量：約 1.1kg，手持操作方便續(xù)航能力：滿電可連續(xù)使用 4 小時以上數(shù)據(jù)功能：自帶存儲，USB 接口可導(dǎo)出數(shù)據(jù)存檔內(nèi)置材料折射率數(shù)據(jù)庫，常規(guī)材料直接選用
二、工作原理
儀器發(fā)出白光照射在樣品表面，基底與薄膜會分別反射光線，設(shè)備通過分析光線干涉后的光譜信號，自動計算出薄膜的實際厚度。整個過程不用接觸工件，不會刮傷表面、造成污染，高價值樣品也能放心檢測。
三、現(xiàn)場使用優(yōu)勢
1、無損檢測，適配較高級工件
全程非接觸測量，不像接觸式測厚工具容易劃傷鍍層、薄膜，晶圓、光學(xué)鏡片、柔性材料這類嬌貴工件，檢測起來不用擔心損傷。
2、精度出色，數(shù)據(jù)靠譜
儀器本身重復(fù)測量誤差很小，不管是車間批量抽檢，還是實驗室做研發(fā)實驗，數(shù)值都穩(wěn)定可靠，日常品質(zhì)管控、數(shù)據(jù)對標都能滿足要求。
3、一機多用，基材不挑
玻璃、金屬、塑料、半導(dǎo)體基材都能正常測量，不用頻繁更換探頭、反復(fù)校準，切換不同樣品檢測也很省事。專業(yè)款還能解析多層涂層，應(yīng)對復(fù)雜鍍膜產(chǎn)品毫無壓力。
4、便攜靈活，場景不受限
機身輕巧，走到哪測到哪，產(chǎn)線工位、質(zhì)檢室、研發(fā)實驗室都能擺放使用。可旋轉(zhuǎn)測頭設(shè)計，面對異形工件、邊角位置也能輕松對準測量點。
5、操作簡單，效率高
開機就能使用，不用復(fù)雜調(diào)試，新手簡單熟悉后即可上手。一秒出讀數(shù)，大批量檢測也能保證效率，檢測數(shù)據(jù)還能導(dǎo)出電腦整理報表，臺賬記錄很方便。
四、適用場景
半導(dǎo)體行業(yè)：晶圓氧化膜、光刻膠、絕緣層厚度檢測
光學(xué)領(lǐng)域：鏡片增透膜、紅外膜、ITO 導(dǎo)電膜等鍍膜測量
顯示行業(yè)：屏幕偏光片、阻隔膜、基板涂層質(zhì)檢
光伏產(chǎn)業(yè)：太陽能電池減反膜、鈍化膜日常管控
精密制造：各類樹脂薄膜、功能性涂層厚度抽檢
五、日常維護
平時注意保護測量鏡頭，有灰塵污漬用無塵布搭配無水乙醇輕輕擦拭即可。避免硬物磕碰鏡頭與機身，長期閑置時放在干燥避光環(huán)境，定期補充電量。建議每年使用標準試片做一次精度校驗，長久保障測量準確度。
大塚電子 SM-100 系列是實用性很強的便攜膜厚檢測儀，兼顧高精度、無損測量與移動作業(yè)的需求。標準版適合常規(guī)單層薄膜批量檢測，專業(yè)款可應(yīng)對多層復(fù)雜涂層，功能劃分清晰。設(shè)備耐用、操作簡單，是薄膜涂層厚度檢測環(huán)節(jié)里，口碑和實用性都在線的主流機型。
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