沃拉斯頓偏振器是由兩個(gè)雙折射材料棱鏡用光學(xué)特定膠水粘結(jié)在一起制成的。尋常光和非尋常光在輸入光束軸上的偏離幾乎是對(duì)稱的，因此沃拉斯頓偏振分束器的偏離大約是羅雄的兩倍。MgF? Wollaston 氟化鎂沃拉斯頓偏振棱鏡。

一、基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)與設(shè)計(jì)原理

1. 晶體屬性

MgF?為正單軸晶體，，透光區(qū)間110~7000nm，深紫外至中紅外全覆蓋。

2. 結(jié)構(gòu)構(gòu)成

兩塊同規(guī)格直角 MgF?棱鏡光軸相互垂直，斜面貼合光膠組合；自然光垂直入射端面。

3. 分光原理

· 入射光進(jìn)入一棱鏡，分解為 o 光、e 光同路傳播

· 界面處偏振身份互換，折射率發(fā)生突變

· 兩束正交偏振光同時(shí)向兩側(cè)偏折，出射后全部分開(kāi)

· 區(qū)別洛匈棱鏡：沃拉斯頓兩束光均偏離入射軸線

0. 核心分離角公式

為棱鏡頂角，頂角越大、波長(zhǎng)越短，分光夾角越大。

二、關(guān)鍵設(shè)計(jì)參數(shù)

1. 工作波段

核心適配：193/248/266/355nm 深紫外，兼顧可見(jiàn)、近紅外、中紅外。

2. 雙折射與分光角

532nm 處，常規(guī)分光夾角1°~5°，按需定制頂角調(diào)整角度。

3. 光學(xué)指標(biāo)

· 消光比：標(biāo)準(zhǔn)，精密級(jí)可達(dá)

· 損傷閾值：1064nm 下約，深紫外耐受度優(yōu)異

· 面形精度：常規(guī)，精密檢測(cè)用

0. 拼接工藝

· 光膠結(jié)構(gòu)：無(wú)有機(jī)膠層，深紫外、高功率場(chǎng)景專用，無(wú)吸收老化

· 膠合結(jié)構(gòu)：低成本，僅適用于 400nm 以上低功率光路

0. 通光孔徑

常用 Φ6/8/10/15/20mm，設(shè)計(jì)預(yù)留 1.2~1.5 倍光束余量規(guī)避邊緣損耗。

三、性能對(duì)比

四、標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)與參數(shù)（福州呈欣光電可量產(chǎn)提供）

呈欣光電提供的型號(hào)

WSP50系列：φ6 ~50mm，130–4000 nm，2.7°@532 nm，消光比 < 5×10??。

五、主流應(yīng)用場(chǎng)景

1. 半導(dǎo)體精密檢測(cè)

193/266nm 光刻光路、晶圓缺陷掃描、薄膜橢偏測(cè)厚，正交偏振差分成像，識(shí)別納米級(jí)細(xì)微瑕疵。

2. 深紫外激光系統(tǒng)

紫外打標(biāo)、刻蝕、精密切割設(shè)備，偏振分光合束，調(diào)控激光輸出偏振態(tài)。

3. 干涉測(cè)量?jī)x器

激光干涉儀、位移傳感、光譜分析，拆分正交偏振光，實(shí)現(xiàn)相位與光強(qiáng)檢測(cè)。

4. 光學(xué)通信與傳感

光纖偏振解調(diào)、紅外傳感光路，完成偏振分束，提升信號(hào)分辨能力。

5. 科研偏振實(shí)驗(yàn)

量子光學(xué)、偏振光譜、偏振成像，作為標(biāo)準(zhǔn)偏振分光核心元件。

六、選型設(shè)計(jì)要點(diǎn)

1. 短波長(zhǎng)優(yōu)先選光膠結(jié)構(gòu)，杜絕膠層紫外吸收損壞元件

2. 根據(jù)光路間距確定分光夾角，頂角匹配實(shí)際安裝空間

3. 高功率工況優(yōu)先選用高損傷閾值基材與精密面形