受益于半導(dǎo)體、顯示面板等下游需求的增長(zhǎng)以及相關(guān)政策的推動(dòng)，我國(guó)電子特氣行業(yè)不斷發(fā)展壯大，市場(chǎng)規(guī)模持續(xù)擴(kuò)容，這也使得對(duì)特氣的純度要求越來(lái)越高。氦放電離子化檢測(cè)器DID氣相色譜儀配以特定的氣路系統(tǒng)，在特氣分析方面將會(huì)顯現(xiàn)出越來(lái)越大的性，為電子特氣的發(fā)展提供精準(zhǔn)的數(shù)據(jù)支持。

DID檢測(cè)器屬于通用型(除了載氣氦氣He外，對(duì)任何氣體均有響應(yīng))且靈敏的檢測(cè)器，檢測(cè)范圍可從十億分之一(ppb)到2%，廣泛應(yīng)用于ppb級(jí)別痕量氣體的分析。以下為大家簡(jiǎn)單講解一下它的工作原理：

DID檢測(cè)器工作原理：

DID的主體由上下兩個(gè)小膛所構(gòu)成，并由一狹窄小開(kāi)口連接上下二膛。 一連串分離但相關(guān)連的反應(yīng)都發(fā)生于此，并形成氣相色譜圖。

上膛是放電的區(qū)域，超高純度的氦氣充滿其中，內(nèi)有一對(duì)相距甚近的球與針狀電極，電極兩端施以525VDC的高壓電，便于電極周遭形成了氦氣的環(huán)狀放電，環(huán)狀放電的產(chǎn)物。

下膛是分析物的檢測(cè)區(qū)域，稱為離子化膛。環(huán)狀放電的產(chǎn)物經(jīng)過(guò)連接上下二膛的開(kāi)口，流到檢測(cè)器極化板，作為分析物被離子化的原子或分子的檢測(cè)媒介。

經(jīng)過(guò)色譜柱后，載氣(氦氣)及已被分離的樣品，陸續(xù)進(jìn)入并橫越過(guò)檢測(cè)器極化板。樣品分子及從上膛流下之，經(jīng)由非彈性碰撞后離子化分析物。所形成的陰陽(yáng)離子，則被檢測(cè)器極化板的極化區(qū)所收集，并形成電流。電流與樣氣里面的分析物濃度成正比，從而得到對(duì)應(yīng)的色譜圖。

由于DID的電離能量可以達(dá)到穩(wěn)定的24.8eV，因此可以電離包括Ne、Kr、Xe在內(nèi)的稀有氣體