成膜設備可選部件ULVAC愛發(fā)科薄膜沉積設備的選項PSE的操作說明
成膜設備可選部件ULVAC愛發(fā)科薄膜沉積設備的選項PSE的操作說明
成膜設備可選部件
Model:PSE
蒸鍍用電源(帶外部自動控制功能) 可根據(jù)規(guī)格的選擇在成膜控制器與溫度調(diào)節(jié)計的組合下控制
電壓 :AC 100V 單相 0.8kVA(50/60Hz)允許電壓變動范圍=±10%
負荷電流: Max. 80A
控制信號: 外部自動控制輸入 DC-0~10V/0~100%設定接收阻抗 1MΩ
電力控制方式: 晶閘管交流相位控制系統(tǒng)(輸出穩(wěn)定精度:±10%?輸出變動±2%)
定格:30分
外形尺寸: 480mm(W)×360mm(D)×149mm(H)(不包括突起部分和配件)
質(zhì)量: 約24kg


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