一、產(chǎn)品核心定位與應(yīng)用場景

• 半導(dǎo)體晶圓 / 芯片電學(xué)參數(shù)測試（IV、CV、電阻率等）

• 氣敏傳感器靈敏度、響應(yīng)特性測試

• LED、LCD、太陽能電池光電性能與可靠性測試

• 新型材料、二維材料、超導(dǎo)材料低溫 / 高溫物性研究

• 集成電路、功率器件高低溫老化與可靠性驗(yàn)證

  可滿足物理研究、材料分析、器件研發(fā)、產(chǎn)線質(zhì)檢全流程需求，是微納電子與先進(jìn)材料領(lǐng)域的關(guān)鍵測試設(shè)備。

二、四大核心優(yōu)勢，重塑高精度測試標(biāo)準(zhǔn)

1. 超寬溫域 + 精準(zhǔn)控溫，特殊環(huán)境穩(wěn)定模擬

2. 高真空腔體，杜絕氧化與漏電干擾

• 低溫下水汽結(jié)露導(dǎo)致漏電偏大、接觸不良

• 高溫下氧氣氧化樣品，造成電性偏差與結(jié)構(gòu)形變

• 空氣介電損耗與電磁干擾，保障微弱信號(hào)測試穩(wěn)定。

3. XYZ 三軸精密定位，探針接觸零損傷

4. 光學(xué)顯微清晰觀測，操作直觀便捷

三、關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)一覽

• 樣品臺(tái)：2 英寸不銹鋼，平整度 5μm

• 溫控范圍：83K–623K（液氮制冷）

• 控溫精度：±0.25℃，分辨率 0.1℃

• 真空度：6×10??mbar（配分子泵組）

• 三軸行程：X/Y=25mm，Z=18mm

• 探針定位精度：10μm

• 腔體材質(zhì)：化學(xué)鍍鎳鋁雙腔體

• 整機(jī)尺寸：620×400×260mm（帶顯微鏡）

• 供電：220V AC 50Hz

四、為什么科研與企業(yè)都選擇 VS21？

1. 環(huán)境真實(shí)可控：真空 + 高低溫協(xié)同控制，貼近器件實(shí)際工況，數(shù)據(jù)更可信。

2. 測試精度更高：低漏電、低漂移、高重復(fù)性，滿足科研與出廠質(zhì)控要求。

3. 穩(wěn)定耐用易維護(hù)：優(yōu)質(zhì)密封與管路設(shè)計(jì)，漏率低、壽命長、日常維護(hù)簡單。

4. 模塊化可擴(kuò)展：支持探針夾具、真空系統(tǒng)、溫控模塊選配，適配多場景升級(jí)。

5. 國產(chǎn)高性價(jià)比：對(duì)標(biāo)進(jìn)口設(shè)備性能，交付更快、售后更及時(shí)、綜合成本更低。

五、適用用戶群體

• 高校 / 科研院所：物理、材料、電子、微電子等實(shí)驗(yàn)室

• 半導(dǎo)體企業(yè)：芯片、功率器件、集成電路研發(fā)與質(zhì)檢

• 傳感器廠商：氣敏、溫濕度、MEMS 器件性能測試

• 光電 / 新能源企業(yè)：LED、LCD、太陽能電池、薄膜電池測試

• 第三方檢測機(jī)構(gòu)：材料分析、器件可靠性與失效分析

結(jié)語