在半導(dǎo)體、精密光學(xué)、MEMS 等制造領(lǐng)域，高精度的三維形貌檢測(cè)是產(chǎn)品質(zhì)量的生命線。但你是否也曾陷入這樣的檢測(cè)困境？

大尺寸樣品檢測(cè)總兩難：看全貌丟細(xì)節(jié)，測(cè)不準(zhǔn)尺寸面形；看細(xì)節(jié)丟全局，找不到缺陷分布規(guī)律。

完整全貌與納米級(jí)細(xì)節(jié)，如何兼得？

托托科技神影系列 三維光學(xué)輪廓儀，用三維拼接功能，給出了答案。

什么是三維拼接？

簡(jiǎn)單來說，三維拼接就像給樣品拍攝一張全景高清3D照片。

神影系列三維光學(xué)輪廓儀將大尺寸樣品劃分為多個(gè)連續(xù)的高分辨率小視場(chǎng)，系統(tǒng)依托高精度電動(dòng)XY位移平臺(tái)和±3°電動(dòng)智能調(diào)平俯仰臺(tái)，配合高倍物鏡逐個(gè)拍攝每個(gè)區(qū)域的完整三維輪廓數(shù)據(jù)；再通過智能特征匹配算法，將所有獨(dú)立的三維數(shù)據(jù)塊無縫融合，最終生成一個(gè)覆蓋樣品全貌、同時(shí)保留納米級(jí)分辨率的完整三維模型。

這項(xiàng)功能帶來的核心優(yōu)勢(shì)，改變了傳統(tǒng)單視場(chǎng)測(cè)量的局限：

無需取舍：200億像素超高清拼接，保留原始分辨率，全局全貌與納米級(jí)細(xì)節(jié)兼得，一鍵導(dǎo)航定位任意區(qū)域。

精度無損：Z向分辨率0.1nm，粗糙度RMS重復(fù)性低至0.003nm，臺(tái)階測(cè)量重復(fù)性0.1%，跨視場(chǎng)拼接無斷層。

高效可靠：自研核心AI算法，自動(dòng)找焦+智能調(diào)平，1秒極速出圖，全流程自動(dòng)化，批量檢測(cè)效率大幅提升。

直擊行業(yè)痛點(diǎn)，解鎖真實(shí)應(yīng)用價(jià)值

三維拼接功能的落地，為多個(gè)精密制造行業(yè)的大尺寸樣品檢測(cè)提供了高效解決方案。

精密光學(xué)元件：全局面形與單透鏡參數(shù)一次搞定

微透鏡陣列是 AR/VR 設(shè)備、激光雷達(dá)、成像系統(tǒng)中的核心元件。傳統(tǒng)單視場(chǎng)檢測(cè)方式下，要么只能獲取陣列的整體排布信息，無法測(cè)量單個(gè)透鏡的曲率半徑、矢高和面形誤差；要么只能對(duì)少量透鏡進(jìn)行抽樣檢測(cè)，無法評(píng)估整個(gè)陣列的均勻性。

微透鏡陣列（整體尺寸：11mm×3mm）

神影系列三維光學(xué)輪廓儀的三維拼接功能，可一次性完成整個(gè)微透鏡陣列的三維掃描。在生成的完整模型上，你既能宏觀查看所有透鏡的排布間距、整體平整度，又能任意放大到單個(gè)透鏡，精準(zhǔn)測(cè)量其各項(xiàng)參數(shù)，極大提升了檢測(cè)效率與數(shù)據(jù)完整性。

柱面鏡（整體尺寸：10mm×1.62mm）

菲涅爾透鏡

除此之外，設(shè)備還廣泛適用于衍射光學(xué)元件（DOE）、大尺寸光學(xué)鏡片、導(dǎo)光板等元件的全面形檢測(cè)。

精密加工：大面積表面紋理的完整表征

在精密加工領(lǐng)域，大面積金屬表面的紋理、刻蝕結(jié)構(gòu)、涂層厚度均勻性檢測(cè)同樣面臨單視場(chǎng)局限。

三維拼接功能可完整呈現(xiàn)數(shù)厘米級(jí)樣品的表面形貌，準(zhǔn)確評(píng)估加工工藝的一致性，快速定位大面積范圍內(nèi)的劃痕、凹陷、凸起等缺陷，所有測(cè)量結(jié)果可一鍵生成標(biāo)準(zhǔn)化檢測(cè)報(bào)告，滿足工業(yè)質(zhì)量管控的追溯要求。

托托科技神影系列 三維光學(xué)輪廓儀，用三維拼接技術(shù)破解行業(yè)檢測(cè)難題，真正實(shí)現(xiàn)“大尺寸、全細(xì)節(jié)、高精度”的三維形貌表征，打破了單視場(chǎng)的物理局限，為制造的質(zhì)量管控提供了更全面、更可靠的技術(shù)支撐。