作為Dektak系列的旗艦升級款，Dektak Pro凝聚布魯克55年技術(shù)創(chuàng)新，將接觸式測量的性能推至全新高度。核心精度：垂直分辨率1?，臺階高度重復(fù)性穩(wěn)定優(yōu)于4?，數(shù)據(jù)精準(zhǔn)度與重復(fù)性比肩實驗室頂級標(biāo)準(zhǔn)。

搭載直驅(qū)掃描臺與Vision64智能軟件，自動臺階檢測減少人為誤差，2D/3D形貌、應(yīng)力、晶圓翹曲一鍵分析。硬件兼容：支持200mm（8英寸）樣品，掃描長度達(dá)55mm，憑借可達(dá)200mm；可選N-Lite+精微力傳感器，0.03mg超低探針力適配薄膜、軟材料，杜絕表面損傷。

從半導(dǎo)體晶圓、光學(xué)鍍膜、顯示面板，到MEMS器件、生物材料與質(zhì)檢，Dektak Pro以高精度、高效率、高兼容，成為前沿研發(fā)與工業(yè)量產(chǎn)的標(biāo)配之選。

Dektak Pro 特點綜述：

1. 布魯克Dektak Pro，55年積淀，納米級輪廓測量金標(biāo)準(zhǔn)

2. 精度致勝，效率為先，Dektak Pro探針式臺階儀，定義精密測量新高度

3. 從研發(fā)到量產(chǎn)，一儀掌控Dektak Pro，半導(dǎo)體/材料科學(xué)的微米級慧眼

4. 第十一代旗艦，4?重復(fù)性，200mm大樣品兼容，一鍵式智能分析

核心點：

• ? 55年技術(shù)積淀，行業(yè)金標(biāo)準(zhǔn)

• ? 4?重復(fù)性，1?垂直分辨率

• ? 200mm大樣品臺，適配8英寸晶圓

• ? 0.03mg超低探針力，無損測量

• ? 直驅(qū)掃描+智能軟件，高效省心

• ? 半導(dǎo)體/光學(xué)/MEMS/材料科學(xué)全適配

Dektak Pro精測入微，智控全局。

布魯克Dektak Pro——每一次測量，都為精準(zhǔn)而生。