上海高笙集成電路設(shè)備有限公司，上海高笙集成電路設(shè)備有限公司（上海高笙），2019 年成立，臨港新片區(qū)，國(guó)家的級(jí)高新技術(shù)企業(yè)、專(zhuān)精特新中小企業(yè)，隸屬高昇創(chuàng)芯集團(tuán)，專(zhuān)注半導(dǎo)體 SUB FAB 尾氣處理設(shè)備與溫控 / 流體零部件研發(fā)制造，服務(wù)晶圓廠、三代半導(dǎo)體、新能源與面板行業(yè)。

核心定位：半導(dǎo)體尾氣處理（Local Scrubber）+ 精密溫控 / 流體系統(tǒng)國(guó)產(chǎn)替代核心廠商，提供設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售與維保全鏈條服務(wù)。

核心產(chǎn)品

SUB FAB 尾氣處理設(shè)備（Local Scrubber）：半導(dǎo)體刻蝕 / 沉積 / 擴(kuò)散等工藝廢氣處理（酸堿、有毒、易燃、含塵廢氣），核心為復(fù)合式冷阱 + 吸附 + 洗滌一體化裝置，處理流量 50–500m3/h，去除效率≥99%。

精密溫控系統(tǒng)：加熱帶（Heating Jacket，-40℃~200℃，均勻控溫 ±0.5℃）、熱氮系統(tǒng)（Hot N?，150–250℃，高純氮?dú)饧訜彷斔停?、制冷機(jī)（Chiller，-80℃~20℃，精準(zhǔn)冷卻）。

半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件：高純氣體管路組件、EP 級(jí) 316L 不銹鋼管件、真空法蘭、精密過(guò)濾器、壓力 / 流量傳感器、定制化腔體與閥門(mén)。

下游應(yīng)用：12 英寸晶圓廠、三代半導(dǎo)體（SiC/GaN）、光伏 / LED、液晶面板、新能源電池等制造領(lǐng)域。

核心客戶：中芯國(guó)際、華虹、北方集成電路創(chuàng)新中心、TCL 華星、三安光電等。

二、核心生產(chǎn)與檢測(cè)設(shè)備儀器

1. 尾氣處理設(shè)備（Local Scrubber）制造

數(shù)控鈑金加工中心：機(jī)架 / 腔體精密加工，精度 ±0.02mm，材質(zhì) 304/316L 不銹鋼。

自動(dòng)焊接機(jī)（氬弧 / 激光）：腔體 / 管路焊接，氦檢漏合格（泄漏率≤1×10?1?Pa?m3/s），無(wú)二次污染。

冷阱組裝工裝：復(fù)合式冷阱（內(nèi)外雙冷結(jié)構(gòu)）裝配，確保換熱效率與粉塵吸附能力。

密封測(cè)試臺(tái)：整機(jī)氣密 / 水密測(cè)試，0.6MPa 保壓 30min 無(wú)泄漏。

2. 溫控系統(tǒng)與零部件加工

精密繞線機(jī)：加熱帶電阻絲均勻纏繞，功率密度穩(wěn)定，絕緣耐壓≥5kV。

數(shù)控車(chē)床 / 銑床：高純管件、法蘭、閥門(mén)加工，表面粗糙度 Ra≤0.8μm，適配 EP 級(jí)管道。

真空釬焊爐：零部件真空焊接，高溫強(qiáng)度高、密封性好，適用于真空 / 高純環(huán)境。

超純水清洗線：零部件18.2MΩ?cm 超純水 + 超聲波清洗，無(wú)塵等級(jí) Class 100，無(wú)顆粒 / 離子殘留。

3. 檢測(cè) / 驗(yàn)證設(shè)備（質(zhì)量核心）

氣體分析儀（FTIR/GC-MS）：尾氣處理效率檢測(cè)，微量雜質(zhì)（ppb 級(jí)）定量，符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)。

露點(diǎn)儀（高精度）：熱氮系統(tǒng)水分檢測(cè)，-110℃~+20℃，精度 ±0.1℃，控制 H?O≤1ppb。

溫度校準(zhǔn)儀：加熱帶 / 制冷機(jī)溫控精度驗(yàn)證，±0.1℃分辨率，全量程校準(zhǔn)。

氦質(zhì)譜檢漏儀：腔體 / 管路 / 零部件檢漏，泄漏率≤1×10?11Pa?m3/s，保障高純 / 真空環(huán)境。

三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)（CMM）：關(guān)鍵尺寸檢測(cè)，精度 ±0.003mm，確保零部件互換性。

潔凈度測(cè)試儀：零部件表面顆粒檢測(cè)，≤0.1μm 顆粒≤1 顆 /㎡，符合半導(dǎo)體潔凈要求。

4. 輔助設(shè)備

無(wú)塵車(chē)間（Class 1000）：核心工序組裝 / 測(cè)試，溫濕度（23℃±2℃，50%±5% RH）精準(zhǔn)控制。

SAP 倉(cāng)儲(chǔ)管理系統(tǒng)：1200 + 種零備件全生命周期管控，快速響應(yīng)客戶維保需求。

三、核心工藝流程（Local Scrubber）

鈑金 / 腔體加工：不銹鋼板材→數(shù)控切割 / 折彎→焊接→氦檢漏→超純水清洗→烘干。

核心組件裝配：冷阱（內(nèi)外雙冷結(jié)構(gòu)）→吸附單元→洗滌單元→風(fēng)機(jī) / 動(dòng)力系統(tǒng)→電控系統(tǒng)集成。

溫控 / 流體系統(tǒng)匹配：加熱帶 / 熱氮系統(tǒng)→管路連接→溫度 / 壓力校準(zhǔn)→聯(lián)動(dòng)測(cè)試。

整機(jī)性能驗(yàn)證：氣密測(cè)試→氣體處理效率測(cè)試→溫控精度測(cè)試→連續(xù)運(yùn)行穩(wěn)定性測(cè)試。

包裝交付：無(wú)塵封裝→氮?dú)獗Ｗo(hù)→防振包裝→交付客戶，提供安裝調(diào)試與維保服務(wù)。

北崎國(guó)際貿(mào)易（北京）有限公司    

代理品牌  產(chǎn)品

TORAY東麗         氧氣分析儀超聲波傳感器等

SIBATA柴田        環(huán)境測(cè)量泵空氣采樣泵

CCS晰寫(xiě)速          環(huán)形光源條形光源同軸光源

SEN日森             汞燈曝光燈

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SUGIDEN杉山電機(jī)   檢測(cè)裝置、傳感器等

Kakuhunt寫(xiě)真化學(xué)   攪拌機(jī)

HR HAYACHI-REPIC林時(shí)計(jì)  檢查燈光源控制器

SERIC索萊克    人造太陽(yáng)能照明燈

SONIC索尼克   超聲波風(fēng)速計(jì)

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MATSUO松尾電器  溫度傳感器、陶瓷傳感器

EBARA荏原       真空泵

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日本AND 、USHIO牛尾、MIYUKI美幸輝、KOTOHIRA琴平、ORIENTAL MOTOR東方馬達(dá)、SURUGA SEIKI駿河精機(jī)、NAGARISHI成茂、THINKY新基、NAGANO KEIKI長(zhǎng)野計(jì)器