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增量式光柵尺技術(shù)：Nikon高度計(jì)高精度的核心秘密
增量式光柵尺技術(shù)：Nikon高度計(jì)高精度的核心秘密
Nikon MF-501高度計(jì)的核心測(cè)量基準(zhǔn)來(lái)自高精度增量式光柵尺。
該光柵尺采用玻璃基體作為尺身材料，這種材料具有良好的尺寸穩(wěn)定性和確定的溫度特性，支持大測(cè)量范圍下的穩(wěn)定測(cè)量。
與傳統(tǒng)的磁性或容性測(cè)量基準(zhǔn)相比，玻璃基增量式光柵尺對(duì)震動(dòng)和機(jī)械沖擊不敏感，使其在帶有振動(dòng)源的工業(yè)環(huán)境中仍然能夠保持良好測(cè)量性能。
光柵尺的掃描方式采用光電掃描原理，光源發(fā)出的光通過(guò)光柵尺的刻線(xiàn)后由光電元件接收，產(chǎn)生相位差為90度的兩路正弦波信號(hào)。
電子系統(tǒng)對(duì)這兩路信號(hào)進(jìn)行高倍細(xì)分處理，可精確識(shí)別出納米級(jí)的微小位移變化，從而將原光柵刻線(xiàn)間距大幅細(xì)分，最終實(shí)現(xiàn)0.01μm級(jí)別的超高分辨率。
正是這一核心技術(shù)使Nikon DIGIMICRO系列能夠精準(zhǔn)應(yīng)對(duì)化工領(lǐng)域中對(duì)薄膜厚度、涂層高度、精密器件尺寸等亞微米級(jí)別的苛刻測(cè)量要求。
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