富士金 NFUND?71G?6.35?2（NEW?MEGA 系列 手動超高純隔膜閥）

一、型號解析

• NFUND：NEW?MEGA 系列（新一代高純隔膜閥）

• 71G：閥體規(guī)格（EP 電解拋光、VCR 接口、標(biāo)準(zhǔn)型）

• 6.35：通徑 6.35 mm（1/4 英寸）

• 2：標(biāo)準(zhǔn)流路、Cv 規(guī)格代碼

二、核心結(jié)構(gòu)與材質(zhì)（接液全高純）

• 閥體：SUS316L，EP 電解拋光（Ra ≤ 0.25 μm），無油無塵

• 隔膜：鎳?鈷合金（哈氏合金系），抗疲勞、低掉塵、耐強(qiáng)腐蝕

• 閥座：PCTFE，耐 HF、HCl、HI、Cl?、WF?、SiH? 等特氣

• 手柄：聚酰亞胺，耐高溫、防靜電、耐腐蝕

• 結(jié)構(gòu)：零死區(qū)設(shè)計，無滯留死角，置換性能優(yōu)異

三、關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)

• 公稱通徑：6.35 mm（1/4"）

• 接口形式：VCR 公頭（UJR），金屬墊片密封

• 最高壓力：1.0 MPa（10 bar）

• 溫度范圍：?10℃ ～ +80℃

• Cv 值：0.3（N?，20℃）

• 泄漏等級：

• 內(nèi)漏：氣泡級零泄漏

• 外漏：≤5×10?12 Pa?m3/s（氦檢）

• 潔凈度：禁油（OIL?FREE），半導(dǎo)體級

• 尺寸（mm）：長 57 × 高 53 × 寬 35；手柄長 40

• 重量：約 260 g

• 安裝：面板安裝（開孔 φ20.5）

四、主要特點(diǎn)

1. 超高潔凈：EP 電解拋光 + 無油處理，顆粒極低，滿足 8/12 寸與 SiC/GaN 工藝

2. 強(qiáng)耐腐蝕：鎳鈷合金隔膜 + PCTFE 閥座，適配幾乎所有半導(dǎo)體特氣

3. 高密封可靠：金屬隔膜 + VCR 金屬墊，氦級密封，長期真空 / 高壓穩(wěn)定

4. 緊湊易集成：體積小、面板安裝密度高，氣體面板 / 特氣柜標(biāo)配

5. 長壽命：隔膜疲勞壽命顯著優(yōu)于普通 MEGA 系列，維護(hù)周期長

五、典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體：刻蝕、沉積、擴(kuò)散、清洗機(jī)臺、特氣柜（GC）、氣體面板（GP）

• 高純氣體：N?、Ar、He、O?、H? 輸送與分配

• 腐蝕性特氣：HCl、HI、HF、Cl?、WF?、SiH? 等危險 / 高純介質(zhì)

• 真空系統(tǒng)：高真空管路隔離與切換

• 面板 / LED：OLED、LCD、光伏制程氣路控制