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日本 miraial KT3003 12 寸標(biāo)準(zhǔn) FOUP 前開(kāi)式晶圓傳送盒簡(jiǎn)介
產(chǎn)品概述
該器件是適配 300mm 規(guī)格晶圓的前開(kāi)式承載容器，產(chǎn)自日本，主要部署于半導(dǎo)體潔凈廠房，用于晶圓靜置存放、各生產(chǎn)工序轉(zhuǎn)運(yùn)，同時(shí)可與生產(chǎn)設(shè)備完成對(duì)接作業(yè)。
技術(shù)參數(shù)
型號(hào)：KT3003適用晶圓尺寸：12 英寸標(biāo)準(zhǔn)承載容量：25 片殼體主材：導(dǎo)電 PC、PBT 復(fù)合工程塑料遵循規(guī)范：SEMI 行業(yè)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)防護(hù)性能：自帶防靜電結(jié)構(gòu)使用環(huán)境：高潔凈密閉空間
結(jié)構(gòu)與材質(zhì)說(shuō)明
箱體配備密封艙門(mén)，能夠阻擋外界粉塵、水汽進(jìn)入內(nèi)部腔體。一體成型工藝保障外形尺寸精度，長(zhǎng)期使用不易變形，可匹配自動(dòng)化搬運(yùn)、對(duì)接設(shè)備接口。原材料雜質(zhì)析出量低，化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，不會(huì)腐蝕、污染晶圓表面。產(chǎn)品采用模塊化組合設(shè)計(jì)，零部件拆分更換便捷，日常維護(hù)操作簡(jiǎn)單。
功能特性
具備靜電泄放能力，可規(guī)避靜電放電對(duì)晶圓電路造成損壞。腔體密閉性良好，有效隔絕外部污染物，維持內(nèi)部潔凈度。結(jié)構(gòu)兼容性強(qiáng)，可適配車(chē)間自動(dòng)化流轉(zhuǎn)系統(tǒng)，滿(mǎn)足自動(dòng)化上下料作業(yè)要求。
應(yīng)用場(chǎng)景
半導(dǎo)體芯片全制程物料周轉(zhuǎn)存放高潔凈車(chē)間晶圓暫存保管自動(dòng)化產(chǎn)線設(shè)備對(duì)接配套使用
相關(guān)產(chǎn)品
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