核心優(yōu)勢

• 一體化集成設(shè)計，安裝便捷省空間：將超聲波流量檢測器、控制閥、演算控制電路集成于一體，無需額外管路與配件，大幅簡化安裝流程，適配設(shè)備內(nèi)嵌與狹小空間布局。

• 高速響應(yīng)閉環(huán)控制，流量穩(wěn)定精準：搭載高性能 DSP 信號處理芯片，階躍響應(yīng)時間≤1.5 秒，可快速跟蹤并穩(wěn)定至設(shè)定流量，±0.2% FS 的高精度，滿足半導(dǎo)體制程的嚴苛控制要求。

• 強抗氣泡設(shè)計，復(fù)雜流體適配廣：優(yōu)化的超聲波時差法算法，顯著提升抗氣泡干擾能力，純水、化學品、CMP 漿料等流體均可穩(wěn)定測量，降低斷流、誤判風險。

• 輕量化機身，耐用免維護：相比上代產(chǎn)品體積縮小 20%、重量減輕 35%，便于搬運與安裝；夾管閥采用耐腐耐磨材質(zhì)，長期使用無泄漏風險，維護成本低。

• 多信號輸出，數(shù)據(jù)可追溯：支持脈沖、報警、4-20mA 電流輸出，可選 RS485 通信接口，可與上位機聯(lián)動，實現(xiàn)流量數(shù)據(jù)實時監(jiān)控與記錄，滿足工業(yè)質(zhì)控溯源需求。

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關(guān)鍵參數(shù)

• 品牌：TOKYO KEISO（東京計裝，日本）

• 型號：CLFC300-T11-201-D1-NHO

• 測量原理：超聲波時差法

• 流量范圍：200–2000mL/min（藥液 / 純水）

• 測量精度：±0.2%FS

• 重復(fù)性：±0.1%FS

• 響應(yīng)時間：≤1.5 秒

• 流體溫度：10–50℃

• 工作壓力：≤0.4MPa

• 供電方式：DC24V±10%

• 接觸液材質(zhì)：PFA/PTFE

• 連接方式：φ1/4” 標準接口

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典型應(yīng)用場景

• 半導(dǎo)體制造：CMP 設(shè)備漿料定量供給、超純水流量控制、蝕刻 / 清洗藥液精準配比。

• 精密化工：實驗室微量藥液定量輸送、高純度試劑閉環(huán)流量控制。

• 電子 / 光伏行業(yè)：晶圓制程藥液恒流控制、超薄材料制備流體輸送。

• 醫(yī)療 / 生物領(lǐng)域：高純緩沖液、試劑精準分配，滿足無菌無交叉污染要求。

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