日本 PILLAR氣動(dòng)波紋管泵（風(fēng)囊泵）產(chǎn)品介紹

在半導(dǎo)體 / FPD 制程、精細(xì)化工、制藥、環(huán)保水處理等強(qiáng)腐蝕、高潔凈、防爆工況中，普通金屬泵易腐蝕污染、機(jī)械密封泵易泄漏、傳統(tǒng)隔膜泵脈動(dòng)大且壽命短。日本 PILLAR（皮拉）作為高純氟樹(shù)脂波紋管泵全球熱銷(xiāo)款，其 PE-MA 系列以全 PFA/PTFE 接液、無(wú)密封零泄漏、低脈動(dòng)、長(zhǎng)壽命、氣動(dòng)防爆為核心，成為高純化學(xué)品輸送的熱銷(xiāo)款。

一、型號(hào)定位與核心用途

·       PE-20MA：中流量主力，32 L/min，半導(dǎo)體濕法 / 化工循環(huán)通用。

·       PE-40MA：大流量機(jī)型，60 L/min，生產(chǎn)線批量供液 / 大循環(huán)系統(tǒng)。

·       PE-80MA：超大流量機(jī)型，82 L/min，中溫上限 80℃，高流量腐蝕流體輸送。定位：中溫型（10–100℃，PE-80MA 為 10–80℃）高純耐腐蝕氣動(dòng)波紋管泵，用于強(qiáng)酸強(qiáng)堿 / 有機(jī)溶劑 / 高純藥液的輸送、循環(huán)、加注。

二、工作原理：雙波紋管往復(fù)容積式

·       采用雙波紋管對(duì)稱(chēng)結(jié)構(gòu)，壓縮空氣驅(qū)動(dòng)一側(cè)波紋管伸展、另一側(cè)收縮，形成往復(fù)容積變化；

·       配合PTFE 單向閥控制流向，完成吸排液循環(huán)；

·       無(wú)旋轉(zhuǎn)部件、無(wú)機(jī)械密封，從根源杜絕泄漏與金屬污染；

·       波紋管高柔性抗疲勞，彎曲處 R 角優(yōu)化，壽命可達(dá)數(shù)萬(wàn)小時(shí)。

三、       核心技術(shù)參數(shù)（原廠規(guī)格）

四、       1. 基礎(chǔ)性能

2. 結(jié)構(gòu)與接口

·       泵體：PFA 一體成型，高潔凈、耐酸堿 / 有機(jī)溶劑；

·       波紋管：高純 PTFE（改性抗疲勞），帶序列號(hào)追溯；

·       閥球 / 閥座：PTFE，低磨損、密封嚴(yán)；

·       接口規(guī)格：

o       PE-20MA：Rc1/2"（NPT1/2"）

o       PE-40MA：Rc3/4"

o       PE-80MA：Rc1"

四、五大核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)

1. 全氟樹(shù)脂接液，高純耐腐蝕

·       所有接液部件為PFA/PTFE，耐受硫酸、鹽酸、硝酸、蝕刻液、顯影液、有機(jī)溶劑；

·       無(wú)金屬離子析出，滿(mǎn)足半導(dǎo)體電子級(jí)（EL）/ 超高純（UP）要求。

2. 無(wú)密封零泄漏，本質(zhì)安全

·       無(wú)軸封、無(wú)填料、無(wú)旋轉(zhuǎn)摩擦，消除泄漏點(diǎn)；

·       氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)（無(wú)需用電），防爆等級(jí) Ex d IIB T4，適配易燃易爆 / 防爆車(chē)間。

3. 低脈動(dòng)輸送，流量平穩(wěn)

·       雙波紋管對(duì)稱(chēng)往復(fù)，自帶流量緩沖效應(yīng)，脈動(dòng)遠(yuǎn)低于傳統(tǒng)隔膜泵；

·       可選配脈動(dòng)調(diào)節(jié)器（PA 系列），進(jìn)一步降低脈動(dòng)，保護(hù)精密管路與傳感器。

4. 長(zhǎng)壽命免維護(hù)，運(yùn)行成本低

·       波紋管抗彎曲疲勞設(shè)計(jì)，R 角分散應(yīng)力，壽命可達(dá)30,000 小時(shí) +；

·       結(jié)構(gòu)極簡(jiǎn)，無(wú)易損件，日常僅需檢查氣源與管路，維護(hù)成本極低。

5. 強(qiáng)自吸可干轉(zhuǎn)，工況適應(yīng)性強(qiáng)

·       自吸高度可達(dá)6m，可空轉(zhuǎn) / 干轉(zhuǎn)不傷泵，無(wú)懼氣蝕與斷液；

·       流量隨氣壓0.2–0.5MPa線性可調(diào)，適配不同工況流量需求。

五、典型應(yīng)用場(chǎng)景

1. 半導(dǎo)體 / FPD 行業(yè)

·       濕法清洗：SC-1/SC-2、硫酸雙氧水、鹽酸輸送與循環(huán)；

·       蝕刻工序：顯影液、蝕刻液、剝離液精準(zhǔn)供液；

·       高純水處理：UPW/DIW循環(huán)與轉(zhuǎn)移。

2. 精細(xì)化工行業(yè)

·       酸堿藥液輸送、溶劑循環(huán)、反應(yīng)釜供料、廢水處理（含氟 / 含氯廢水）。

3. 制藥與食品行業(yè)

·       高潔凈藥液、緩沖液、溶劑輸送，符合GMP要求。

4. 環(huán)保與新能源

·       鋰電池電解液、酸堿清洗液輸送；

·       光伏 / 新能源腐蝕流體循環(huán)系統(tǒng)。

六、總結(jié)

PILLAR PE-20MA/PE-40MA/PE-80MA 是高純腐蝕流體輸送氣動(dòng)波紋管泵，以全氟樹(shù)脂材質(zhì)、無(wú)密封零泄漏、低脈動(dòng)、長(zhǎng)壽命、氣動(dòng)防爆五大核心優(yōu)勢(shì)，解決半導(dǎo)體、化工、制藥等行業(yè)的腐蝕、污染、泄漏、脈動(dòng)、防爆痛點(diǎn)。