一、產(chǎn)品概述

ULVAC愛發(fā)科DAU-20是DAU系列高真空型隔膜式干式真空泵（亦稱膜片型干泵）中的基礎(chǔ)型號，該系列以高真空性能與清潔排氣能力為設(shè)計核心，面向需要無油潔凈真空環(huán)境的中低真空應(yīng)用場景。隔膜式干泵通過橡膠隔膜的往復(fù)運動實現(xiàn)排氣，其結(jié)構(gòu)簡單、維護(hù)方便的特點廣受用戶認(rèn)可。

DAU-20采用了三級排氣系統(tǒng)設(shè)計（三階段排氣方式），通過將多個泵頭按三段式串聯(lián)配管結(jié)構(gòu)布局，在保持隔膜泵結(jié)構(gòu)緊湊優(yōu)勢的同時實現(xiàn)了比普通隔膜泵更優(yōu)異的極限壓力性能。該泵氣體接觸區(qū)域不使用潤滑油，是一種真正的干式真空泵；齒輪和軸承等需要潤滑的旋轉(zhuǎn)部件通過密封結(jié)構(gòu)與排氣腔室嚴(yán)格隔離，從根源上杜絕了油蒸氣返流和油霧污染。

DAU-20支持DAU-20A/B/C/D/E五個不同電壓認(rèn)證版本的分支型號，分別適配100～230V的單相交流電源，以滿足世界各地不同電源標(biāo)準(zhǔn)的使用需求。其中DAU-20A/B/C/D/E五個版本均獲得TUV和cTUVus國際安全認(rèn)證。該泵重量僅7.5 kg，外形尺寸為161 mm（寬）× 327 mm（長）× 217 mm（高），在小尺寸機型中實現(xiàn)了20 L/min（50Hz）/ 23 L/min（60Hz）的有效排氣速度，極限壓力可達(dá)200 Pa（表壓-101.1 kPa），在隔膜式干泵同類產(chǎn)品中展現(xiàn)了優(yōu)異的高真空性能。

二、隔膜式工作原理

DAU-20采用隔膜式（膜片式）干泵結(jié)構(gòu)，該設(shè)計以無油、清潔、低維護(hù)為核心導(dǎo)向，在中低真空度（低至數(shù)帕斯卡量級）的排氣需求中具有突出的實用價值。

隔膜型干泵的核心工作機制是：電動機驅(qū)動偏心機構(gòu)（偏心軸/轉(zhuǎn)子）旋轉(zhuǎn)，通過連桿將旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)化為隔膜在泵腔內(nèi)的周期性往復(fù)運動。當(dāng)隔膜向一側(cè)運動時，泵腔容積增大，內(nèi)部壓力降低，吸氣閥門開啟，外界氣體被吸入泵腔；當(dāng)隔膜反向運動時，泵腔容積減小，氣體被壓縮，排氣閥門開啟，將氣體排出。這一動作周而復(fù)始，形成連續(xù)的氣體輸送過程。由于氣體僅與隔膜、泵腔內(nèi)壁和閥門相接觸，且這些部件均采用不包含潤滑油的材料和結(jié)構(gòu)設(shè)計，實現(xiàn)了嚴(yán)格意義上的無油干式排氣。

DAU-20的隔膜驅(qū)動系統(tǒng)具有幾個關(guān)鍵的運行保障特點。首先，內(nèi)置的自動復(fù)位型熱保護(hù)器可在電機過載或過熱時自動切斷電源，待溫度恢復(fù)正常后自動復(fù)位，有效防止因異常工況導(dǎo)致的電機燒毀。其次，該泵支持從大氣壓直接啟動和運行，無需復(fù)雜的預(yù)抽操作流程。再次，整機采用低振動設(shè)計，運行過程中對周邊設(shè)備的影響極小，便于直接集成到精密儀器系統(tǒng)中。

DAU-20的高真空能力源于其三級排氣系統(tǒng)設(shè)計。通過將三個泵頭按三段式配管串聯(lián)連接，氣體在多級泵腔中逐級壓縮，有效克服了背壓影響，實現(xiàn)了比單級或二級隔膜泵更低的極限壓力（200 Pa）。三級排氣系統(tǒng)在結(jié)構(gòu)上保持了隔膜泵緊湊輕便的特點，同時在真空性能上向更高水平邁進(jìn)一步，使DAU-20適用的壓力范圍比常規(guī)隔膜泵更為寬廣。

三、核心性能與規(guī)格參數(shù)

DAU-20在不同電源頻率下的性能參數(shù)差別主要體現(xiàn)于排氣速度；極限壓力在50Hz和60Hz條件下保持一致。ULVAC對DAU-20的性能參數(shù)有明確的定義，并提供多個電壓認(rèn)證版本以滿足全球不同國家和地區(qū)供電標(biāo)準(zhǔn)的差異。DAU-20系列各認(rèn)證分支型號共享相同的核心性能，區(qū)別僅在于適用的電源電壓標(biāo)準(zhǔn)及安全認(rèn)證等級。DAU-20/B/C/D/E五個型號均獲得TUV和cTUVus認(rèn)證，8?L10-L14如下所示：

※極限壓力括號內(nèi)為真空計表壓顯示值。

數(shù)據(jù)來源。

根據(jù)運行手冊中的規(guī)格說明，DAU-20（100V型號）的額定轉(zhuǎn)速約1320 min?1（50Hz）/ 1610 min?1（60Hz），運行噪聲約52 dB(A)，污染等級為2級，過電壓類別為Ⅱ類。

此外，DAU系列中還包含同系列中抽速更大型號DAU-100，有效排氣速度在50Hz條件下為100 L/min，60Hz條件下為110 L/min，極限壓力266 Pa。DAU-20和DAU-100共同構(gòu)成DAU系列的產(chǎn)品線骨干，其中DAU-20以緊湊尺寸和經(jīng)濟(jì)功耗為基礎(chǔ)，面向小尺寸設(shè)備集成需求設(shè)計。

四、產(chǎn)品分支型號與電壓標(biāo)準(zhǔn)

DAU-20系列提供五個面向不同電源和認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)的分支型號，各型號均以DAU-20核心性能為基礎(chǔ)，適用于全球不同地區(qū)的供電環(huán)境和技術(shù)規(guī)范，8?L10-L13：

●：標(biāo)準(zhǔn)適用 ○：可選適用 —：適用不可

TUV認(rèn)證表示產(chǎn)品通過國際第三方產(chǎn)品安全測試和認(rèn)證，符合歐洲標(biāo)準(zhǔn)。cTUVus認(rèn)證表示產(chǎn)品通過國際第三方產(chǎn)品安全測試和認(rèn)證，同時符合美國和加拿大標(biāo)準(zhǔn)。

五、核心特點與技術(shù)優(yōu)勢

5.1 三級排氣系統(tǒng)帶來高真空性能

DAU-20采用三級排氣系統(tǒng)（三段式排氣），通過將三個泵頭按三段式串聯(lián)配管設(shè)計，氣體在多級壓縮過程中逐級提高壓縮比，使極限壓力達(dá)到200 Pa，達(dá)到普通隔膜泵難以實現(xiàn)的高真空水平。這一性能水平使其不僅適用于一般的中低真空應(yīng)用，還可以勝任渦輪分子泵等更高真空系統(tǒng)對前級泵的壓力匹配要求。

5.2 無油干式運行

DAU-20氣體接觸區(qū)域不使用任何真空油，屬于真正的干式真空泵。這一特性帶來了多重優(yōu)勢：

• 無油污染：從根本上消除油蒸氣對被抽容器和環(huán)境的污染，適合對潔凈度有嚴(yán)格要求的高制造與科學(xué)研究場景，例如半導(dǎo)體晶圓處理、生化分析及醫(yī)療器械等對顆粒排放與碳?xì)錃埩裘舾械膽?yīng)用；

• 維護(hù)簡化：無需定期更換真空泵油，大幅降低日常運行成本和維護(hù)工作量；

• 安裝靈活：不受傳統(tǒng)油潤滑泵對安裝方向的限制，設(shè)備集成更為自由。

5.3 豐富的數(shù)據(jù)線長與安全設(shè)計

DAU-20內(nèi)置自動復(fù)位型熱保護(hù)器，當(dāng)泵體發(fā)生異常過載或過熱時自動切斷電源，待溫度恢復(fù)正常后自動復(fù)位，有效防止因異常工況導(dǎo)致的電機損壞。與此同時，該泵支持從大氣壓直接啟動和運行，無需復(fù)雜的預(yù)抽流程，降低了使用門檻和操作風(fēng)險。

5.4 低振動設(shè)計與緊湊化

DAU-20在運行中保持低振動特性，最大限度減少了對周圍設(shè)備和敏感儀器的擾動。整機寬度僅161 mm，重量7.5 kg的小型化設(shè)計使其能夠方便地集成到空間有限的設(shè)備內(nèi)部，不占用過剩的安裝面積。

5.5 豐富的產(chǎn)品陣容與電壓兼容性

作為DAU系列的基礎(chǔ)型號，DAU-20在抽速級別上覆蓋20～23 L/min的區(qū)間，整個DAU系列還包含DAU-100（100～110 L/min抽速）等型號，形成從低抽速到中高抽速的完整產(chǎn)品組合。此外，DAU-20系列提供五個電壓認(rèn)證版本以適應(yīng)不同國家/地區(qū)的電源規(guī)范，并提供CE自我聲明以及TUV/cTUVus國際第三方安全認(rèn)證。

5.6 結(jié)構(gòu)簡單，維護(hù)方便

DAU-20的整體結(jié)構(gòu)設(shè)計秉承了ULVAC隔膜型干泵一貫的簡化理念：泵體僅由隔膜、閥片、泵腔和驅(qū)動機構(gòu)等有限的關(guān)鍵部件組成，無復(fù)雜的油路系統(tǒng)。日常維護(hù)任務(wù)主要包括定期檢查隔膜和閥片的完好狀態(tài)并適時更換，操作門檻低、周期可預(yù)見性強，大幅降低了用戶的人工成本與設(shè)備停機時間。

六、主要應(yīng)用領(lǐng)域

DAU-20憑借其清潔排氣、緊湊尺寸和高真空性能的組合特性，在以下多個領(lǐng)域中發(fā)揮關(guān)鍵作用：

分析儀器：作為氣相色譜、質(zhì)譜分析、生化分析等儀器設(shè)備的中低真空源，提供潔凈無油的真空環(huán)境，避免油蒸氣對檢測結(jié)果的干擾。

渦輪分子泵前級泵：DAU-20的三級排氣系統(tǒng)使其極限壓力性能顯著高于一般隔膜泵，能夠?qū)⑶皇覊毫拇髿鈮撼橹练肿颖玫膯訅毫^(qū)間（通常在10 Pa量級以下），再由此傳接渦輪分子泵接力抽至高真空狀態(tài)。該配置在構(gòu)建潔凈高真空系統(tǒng)時具有結(jié)構(gòu)簡潔、運行穩(wěn)定的優(yōu)勢。

真空干燥系統(tǒng)：在真空干燥裝置中，DAU-20負(fù)責(zé)排出去除氣體和濕氣。在含水蒸氣或濕氣濃度不高的工藝流程中，該干燥工藝對排氣過程的氣體潔凈度有較高要求，DAU-20的無油結(jié)構(gòu)能夠避免干燥腔室內(nèi)引入油污雜質(zhì)。

氣體充填設(shè)備：在氣體置換和充氣工藝中，DAU-20用于先抽空容器再充入所需氣體的流程循環(huán)，完成潔凈的真空-充氣交替操作。

真空蒸鍍裝置：在蒸發(fā)鍍膜等PVD工藝的輔助排氣環(huán)節(jié)，DAU-20可用于低真空粗抽階段或輔助型真空環(huán)節(jié)。

半導(dǎo)體與電子制造：在晶圓吸盤、處理設(shè)備、自動包裝機、印刷設(shè)備、光學(xué)器具等工藝中，DAU-20常作為真空吸附和執(zhí)行機構(gòu)的核心動力源。

醫(yī)療設(shè)備與實驗室：在醫(yī)用真空吸盤、真空鑷子、分析儀器前級模塊等對清潔度、低噪聲和穩(wěn)定性要求較高的環(huán)境下，DAU-20的低振動和無油特性具有顯著適用性。

七、使用注意事項

為保證DAU-20的安全、穩(wěn)定運行并延長其使用壽命，在實際安裝、操作和維護(hù)中需要嚴(yán)格遵循以下指引：

適用氣體類型限制：DAU-20為非耐腐蝕規(guī)格設(shè)計，其使用范圍僅限于清潔的常溫空氣或性質(zhì)相當(dāng)?shù)臐崈魵怏w。嚴(yán)禁抽除腐蝕性氣體、有機溶劑蒸氣、液體以及可凝性氣體（如水蒸氣等）。腐蝕性化學(xué)物質(zhì)的吸入會對隔膜、閥片及泵腔內(nèi)壁造成不可逆的損壞，嚴(yán)重影響密封效果和使用壽命。

顆粒與粉塵防護(hù)：粉塵和顆粒物不得進(jìn)入泵的吸氣通道，吸入顆粒性污染物可能導(dǎo)致閥門堵塞、隔膜磨損加速乃至功能劣化。建議在進(jìn)氣口處安裝吸氣阱或過濾器等前置防護(hù)機構(gòu)，確保進(jìn)氣氣體清潔。

負(fù)載運行停止后的重啟：DAU-20如果在負(fù)載運行中停止，隨后立即嘗試重新啟動可能會失敗。在此情況下，應(yīng)將泵內(nèi)部壓力恢復(fù)到大氣壓狀態(tài)后再行啟動，確保電機具備安全的啟動條件。

近大氣壓長期運行限制：該泵不宜在接近大氣壓的壓力條件下長時間連續(xù)運行。長時間在高壓差工況下運行會加重隔膜負(fù)載和整機發(fā)熱，影響泵的可靠性和零部件壽命。

室內(nèi)使用與環(huán)境要求：DAU-20為室內(nèi)專用設(shè)備，不得安裝于室外、露天或可能遭受雨淋、水淹的惡劣環(huán)境下。使用環(huán)境溫度應(yīng)保持在5～40℃的規(guī)定范圍內(nèi)，并確保通風(fēng)良好，避免在散熱不良的密閉空間中運行。

禁止加壓運行：DAU-20適用于真空抽氣操作，不得作為壓力泵加壓運行，強行在正壓模式下工作可能導(dǎo)致泵體密封失效或安全隱患。

維護(hù)配件：DAU-20可選用專用的維護(hù)套件（Maintenance Kit），并提供防振橡膠（ME-12）等可選配件，用于減振和定期更換易損部件。

八、總結(jié)

ULVAC愛發(fā)科DAU-20隔膜型干泵以三級排氣系統(tǒng)設(shè)計為核心技術(shù)依托，在7.5 kg緊湊機身內(nèi)實現(xiàn)了20 L/min（50Hz）/ 23 L/min（60Hz）的有效排氣速度和200 Pa的極限真空性能，為隔膜式干泵在同級產(chǎn)品中確立了高真空規(guī)格的定位。其氣體接觸區(qū)域無油的結(jié)構(gòu)設(shè)計從根本上杜絕了油蒸氣返流和油霧污染，與內(nèi)置自動復(fù)位型熱保護(hù)器、低振動運行等安全特性一起，共同支撐起分析儀器、渦輪分子泵前級、真空干燥、氣體充填以及半導(dǎo)體電子制造等廣泛領(lǐng)域?qū)崈粽婵盏亩鄻踊枨?。DAU-20同時提供五個面向不同電源標(biāo)準(zhǔn)與認(rèn)證要求的分支型號，幫助用戶在全球范圍內(nèi)便捷選配。在小抽速級別隔膜式干泵產(chǎn)品群中，DAU-20是一種兼顧高真空性能與使用經(jīng)濟(jì)性的漸進(jìn)型設(shè)計范式。