美國malema CMFC-5000系列流量控制器提供了 ±1.5% 的最高可用測量和控制精度，提供了一系列專為半導(dǎo)體市場而設(shè)計的高精度閉環(huán)流量控制器。這項獲得的科里奧利控制器技術(shù)采用 PTFE/PFA 接液部件。它用于各種高純度應(yīng)用，包括去離子水、刺激性化學(xué)品和 CMP 拋光漿料（包括金剛石）。

CMFC-5000 設(shè)計有 1/4” 或 3/8” 端口尺寸，有許多型號，流量范圍從每分鐘 50 克到每分鐘 4,000 克，設(shè)定點精度在 1.5% 以內(nèi)，并提供快速、一致的控制，響應(yīng)時間小于兩秒，提供的精度 - 無論密度、粘度、氣體或溫度如何。

憑借其先進的數(shù)字信號處理，Malema Coriolis 流量控制器技術(shù)可以準(zhǔn)確測量流量，無論密度、粘度和溫度如何變化，確保可靠性和可重復(fù)性。此外，Malema CMFC-5000 對含有截留氣體（氣泡）的流體具有高度耐受性，并能準(zhǔn)確測量氣泡含量高達 30% 的流量。 Malema 科里奧利流量控制器可最大限度地減少代價高昂的停機時間、提高產(chǎn)量并提高半導(dǎo)體行業(yè)的運營盈利能力。

  美國malema CMFC-5000系列流量控制器結(jié)構(gòu)設(shè)計如下：

（一）全氟材質(zhì)的流體接觸部件

產(chǎn)品的流體接觸部件全部采用PFA、PTFE等高純度氟塑料材質(zhì)，無任何金屬部件與流體直接接觸，不僅能有效避免金屬離子污染，還具備強的耐腐蝕性，可安全輸送各種強酸、強堿、有機溶劑等腐蝕性流體。同時，無密封、無運動部件的設(shè)計結(jié)構(gòu)，消除了泄漏與磨損風(fēng)險，大幅延長了設(shè)備的使用壽命。

（二）模塊化與靈活配置

CMFC-5000采用模塊化設(shè)計，可根據(jù)流體類型靈活搭配控制閥門：針對拋光漿料等含顆粒流體，配置高速精密電機驅(qū)動的夾管閥；針對化學(xué)試劑等潔凈流體，則選用隔膜閥，確保每種流體都能獲得最佳的控制效果。此外，產(chǎn)品支持1/4"或3/8"的多種接口規(guī)格，可與現(xiàn)有工藝管路無縫對接。

（三）便捷的電氣與通信設(shè)計

設(shè)備采用24Vdc±10%的寬范圍電源輸入，功耗僅6W，可直接接入工業(yè)控制系統(tǒng)。控制信號支持0-10Vdc或4-20mA模擬量輸入，流量信號輸出同樣兼容這兩種標(biāo)準(zhǔn)模擬量，同時可通過USB接口連接PC端GUI程序，實現(xiàn)參數(shù)配置、校準(zhǔn)與實時監(jiān)控，滿足不同層級的自動化需求。

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