什么是形狀分析激光顯微鏡？

三維激光掃描共焦點(diǎn)顯微鏡是一種能夠利用激光光測(cè)量物體表面形狀的顯微鏡。

有些顯微鏡功能類(lèi)似，比如橫臂顯微鏡，但它們可能會(huì)因接觸表面而損壞樣品。 而形狀分析激光顯微鏡則利用光的反射，實(shí)現(xiàn)非接觸式觀(guān)察。

其光學(xué)系統(tǒng)與典型的共軛聚焦激光顯微鏡完q全相同，但市面上有許多產(chǎn)品通過(guò)采用高速M(fèi)EMS掃描儀和諧振掃描儀來(lái)獲得三維信息，從而縮短掃描時(shí)間。

形狀分析激光顯微鏡的應(yīng)用

形狀分析激光顯微鏡用于檢查各種產(chǎn)品并尋找問(wèn)題。 特別是半導(dǎo)體元件和印刷電路板常與形狀分析激光顯微鏡一起使用，這些顯微鏡可以無(wú)接觸或無(wú)破壞性地檢查，因?yàn)檫@些部件本身非常小且具有詳細(xì)的表面結(jié)構(gòu)。

以無(wú)問(wèn)題產(chǎn)品為參考，并與檢查過(guò)的產(chǎn)品圖片疊加，以快速識(shí)別問(wèn)題區(qū)域。 此外，由于它是非接觸式的，它能處理軟樣品，也用于食品及其他產(chǎn)品測(cè)試，因?yàn)椴恍枰厥獾念A(yù)處理。

形狀分析原理 激光顯微鏡

形狀分析激光顯微鏡通過(guò)照射激光來(lái)檢測(cè)反射光，從而獲得表面形狀信息。

1. 二維形狀

光的強(qiáng)度會(huì)被距離的平方衰減，所以如果你監(jiān)測(cè)反射光的強(qiáng)度，你可以看到到表面的距離。 此時(shí)，當(dāng)非焦點(diǎn)光的光入時(shí)，反射光的增減會(huì)被平均，靈光度下降。

為防止這種情況，形狀分析激光顯微鏡采用共軛焦平面上的針孔共軛光學(xué)，以切斷非焦平面多余的光線(xiàn)。 通過(guò)掃描激光的XY方向，可以獲得與表面的二維信息。

2. 三維形狀

此外，如果物鏡沿Z方向掃描，可以進(jìn)行三維形狀分析。 平面空間分辨率，類(lèi)似于典型的光學(xué)顯微鏡，根據(jù)阿貝定律，取決于激光的波長(zhǎng)。

因此，如果樣品沒(méi)有問(wèn)題，可以使用波長(zhǎng)更短的近紫外激光器，如405 nm，進(jìn)行高分辨率測(cè)量。

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