透射電鏡力電原位系統(tǒng)的組成部件與工作原理
透射電鏡力電原位系統(tǒng)是一種集成力學(xué)加載、電學(xué)測(cè)試與透射電鏡高分辨成像功能的先進(jìn)原位表征設(shè)備,其核心在于通過(guò)MEMS芯片在樣品桿內(nèi)構(gòu)建力、電復(fù)合多場(chǎng)自動(dòng)控制及反饋測(cè)量系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)納米尺度下材料微觀(guān)結(jié)構(gòu)與力電性能的同步觀(guān)測(cè)。
透射電鏡力電原位系統(tǒng)的核心部件:
原位力-電樣品桿:內(nèi)置MEMS芯片,集成力學(xué)傳感器、電學(xué)測(cè)試單元及加熱模塊,支持力、電、熱多場(chǎng)耦合加載。
高精度壓電陶瓷驅(qū)動(dòng):實(shí)現(xiàn)納米級(jí)定位精度,確保探針與樣品的精確接觸。
人機(jī)分離控制:通過(guò)軟件遠(yuǎn)程操控納米探針運(yùn)動(dòng),自動(dòng)采集載荷-位移數(shù)據(jù),避免人為操作誤差。
工作模式:
力學(xué)測(cè)試:支持壓縮、拉伸、彎曲等模式,適用于材料的蠕變、疲勞性能研究。
電學(xué)測(cè)試:電位穩(wěn)定,可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)電化學(xué)反應(yīng)中的電流-電壓曲線(xiàn)。
熱場(chǎng)控制:溫度范圍室溫至1000℃,穩(wěn)定性?xún)?yōu)于±0.1℃,支持自定義升溫程序。
成像與數(shù)據(jù)分析:
結(jié)合EDS(能量色散X射線(xiàn)譜)、EELS(電子能量損失譜)、SAED(選區(qū)電子衍射)、HRTEM(高分辨透射電鏡)等模式,實(shí)時(shí)獲取樣品微觀(guān)結(jié)構(gòu)、相變、元素價(jià)態(tài)及表界面成分演化信息。
多場(chǎng)耦合下,可動(dòng)態(tài)觀(guān)察材料在力、電、熱作用下的原子級(jí)結(jié)構(gòu)變化。
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