項目

詳情

型號

BAR-J65（65A 口徑電動控制蝶閥，J 為 JIS 法蘭，另有 I（ISO）等規(guī)格）

品牌

日本 MIYUKI 美幸輝

口徑 / 接口

65A（JIS 標準法蘭，可定制 KF/ISO 等）

壓力范圍

10??Pa–10?Pa（真空至正壓全工況）

驅(qū)動方式

標準電機直驅(qū)（BAR 系列），無背隙設計

適配控制器

MS-VP（開度指定）、MG-mini485（壓力控制）

閥體材質(zhì)

SUS304 不銹鋼（低顆粒、低氣體排放）

密封

氟橡膠 O 型圈（標準）/ 全氟醚（可選）

泄漏率

內(nèi)部密封≤1×10??Pa?m3/s，軸封≤1×10?1?Pa?m3/s

耐熱溫度

閥體≤150℃，電機≤40℃

供電

DC 24V（由控制器供電，含閥門驅(qū)動）

控制信號

適配 0–10V/4–20mA 模擬信號或 RS-485 通信

核心特性

無金屬滑動部件、微開壓力穩(wěn)定、低噪音運行

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二、關鍵性能與系統(tǒng)適配

1. 核心性能

? 無背隙直驅(qū)：電機與閥軸直接連接，消除傳動間隙，提升微開定位精度與重復性，適配主機 PID 輸出的閉環(huán)調(diào)節(jié)。

? 低顆粒低排放：無金屬滑動部件，減少粒子產(chǎn)生，SUS304 材質(zhì)降低氣體吸附與釋放，適配高潔凈真空 / 正壓系統(tǒng)。

? 寬工況兼容：從超高真空到常壓穩(wěn)定運行，適配多場景壓力閉環(huán)控制。

? 低噪音：開閉與調(diào)節(jié)過程噪聲極低，適合實驗室與潔凈車間。

2. 系統(tǒng)適配

? 控制器匹配：與 MS-VP（模擬開度控制）、MG-mini485（壓力閉環(huán)）無縫對接，支持遠程 / 本地雙模式。

? 閥門聯(lián)動：可與 GAR 系列閘閥組合，實現(xiàn)快速切斷 + 精密調(diào)節(jié)的復合控制。

? 安全保護：配合控制器實現(xiàn)過行程報警、停電復位等聯(lián)鎖功能。

?

三、應用場景與采購要點

1. 核心應用

? 半導體 / 光伏：真空腔體排氣調(diào)節(jié)、PECVD/CVD 工藝壓力穩(wěn)定。

? 工業(yè)真空：真空爐、干燥設備的流量與壓力閉環(huán)控制。

? 化工 / 冶金：中大型真空系統(tǒng)的可變流導與壓力調(diào)節(jié)。

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2026.2.2