荏原EBARA 真空泵 ESA25-D 200/400 V

一、產(chǎn)品概述

EBARA 真空泵 ESA25-D 200/400 V 是日本荏原制作所(EBARA)生產(chǎn)的干式真空泵，屬于其專業(yè)級ESA系列產(chǎn)品。該型號專為半導(dǎo)體制造、化學(xué)氣相沉積(MO-CVD)等工業(yè)應(yīng)用設(shè)計，采用無油干式運(yùn)行技術(shù)，可高效處理氫氣等輕質(zhì)氣體排氣需求。其核心優(yōu)勢在于將大排氣能力(1.5-3.0m3/h)與緊湊設(shè)計(230×450×520mm)結(jié)合，同時保持低振動和低噪音特性，特別適合對空間和運(yùn)行環(huán)境要求嚴(yán)苛的工業(yè)場景。

二、核心特點(diǎn)

1. ?寬電壓兼容設(shè)計?：支持200V/400V雙電壓輸入，適應(yīng)不同工業(yè)電力環(huán)境，200V電壓下功耗僅0.4kW，能效表現(xiàn)優(yōu)異。

2. ?高效排氣性能?：實(shí)測流量范圍1.5-3.0m3/h，揚(yáng)程達(dá)15m，可在辦公桌大小的空間內(nèi)實(shí)現(xiàn)化工廠級的排氣能力。

3. ?緊湊輕量化結(jié)構(gòu)?：整機(jī)重量僅100kg，采用模塊化設(shè)計便于安裝維護(hù)，特別適合空間受限的工業(yè)生產(chǎn)線。

4. ?干式無油運(yùn)行?：無需潤滑油和油霧過濾器，避免油污染風(fēng)險，降低維護(hù)成本，符合半導(dǎo)體制造等潔凈工藝要求。

5. ?智能控制系統(tǒng)?：配備過載保護(hù)和運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)測功能，可記錄通電時間、運(yùn)行時長等關(guān)鍵數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)預(yù)防性維護(hù)。

三、技術(shù)參數(shù)

• ?電壓規(guī)格?：200V/400V交流電，50/60Hz頻率。

• ?排氣速度?：在標(biāo)準(zhǔn)工況下，輕質(zhì)氣體排氣效率優(yōu)異，具體數(shù)值因?qū)嶋H應(yīng)用而異。

• ?極限壓力?：可達(dá)到低真空范圍，確保工藝腔體快速穩(wěn)定抽氣。

• ?功率需求?：高效能設(shè)計，功耗較傳統(tǒng)油泵顯著降低，支持節(jié)能運(yùn)行模式。

• ?材質(zhì)結(jié)構(gòu)?：泵體采用耐腐蝕合金與工程塑料，轉(zhuǎn)子表面特殊處理，增強(qiáng)抗化學(xué)侵蝕能力。

• ?尺寸與重量?：緊湊型設(shè)計，便于空間受限的安裝環(huán)境，具體尺寸需參考廠商手冊。

• ?環(huán)境適應(yīng)性?：

• 操作溫度范圍：適應(yīng)常規(guī)工業(yè)環(huán)境，高溫下性能穩(wěn)定。

• 防護(hù)等級：符合工業(yè)設(shè)備防塵防水標(biāo)準(zhǔn)，確保惡劣條件下可靠性。

四、應(yīng)用場景

• ?半導(dǎo)體制造?：用于晶圓沉積、蝕刻等工藝，提供無污染真空環(huán)境，防止分子級缺陷。

• ?化工行業(yè)?：處理腐蝕性氣體和有機(jī)溶劑，排放，確保安全與環(huán)保合規(guī)。

• ?電子元件生產(chǎn)?：在真空鍍膜和封裝環(huán)節(jié)，實(shí)現(xiàn)高精度氣體控制，提升產(chǎn)品良率。

• ?實(shí)驗(yàn)室研究?：適用于高純度實(shí)驗(yàn)，避免油蒸汽干擾敏感化學(xué)反應(yīng)。

五、附加功能

• ?氮?dú)獯祾哌x項?：支持清潔氣體注入，進(jìn)一步減少殘留物，維持系統(tǒng)潔凈度。

• ?維護(hù)便捷性?：模塊化設(shè)計簡化日常保養(yǎng)，減少停機(jī)時間，提升生產(chǎn)效率。

六、總結(jié)

ESA25-D 200/400V代表了EBARA在干式真空技術(shù)的前沿創(chuàng)新，融合了高效能、耐腐蝕與智能化控制，成為精密工業(yè)和清潔工藝的理想選擇。用戶可根據(jù)實(shí)際需求選配定制化模塊，優(yōu)化特定應(yīng)用場景性能，確保長期穩(wěn)定運(yùn)行。