透射電鏡力電原位系統(tǒng)的構(gòu)成
透射電鏡力電原位系統(tǒng)是一種集成力學加載、電學測試與透射電鏡高分辨成像的原位表征設(shè)備,核心是在透射電鏡樣品桿中加裝掃描探針、力傳感器和電學測試單元,可同步獲取材料原子尺度微觀結(jié)構(gòu)與力電性能數(shù)據(jù),廣泛應用于納米材料、新能源材料等領(lǐng)域的微觀構(gòu)效關(guān)系研究。
透射電鏡力電原位系統(tǒng)主要由以下幾部分構(gòu)成:
原位力-電樣品桿:作為核心部件,樣品桿內(nèi)置MEMS芯片,實現(xiàn)力、電復合多場自動控制及反饋測量。其設(shè)計需滿足透射電鏡的腔體空間限制,同時確保機械穩(wěn)定性高、電磁屏蔽性能良好,以避免對成像光路形成干擾。
MEMS力學加電芯片:采用微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)加工,實現(xiàn)電場和力學加載的獨立控制。芯片設(shè)計需兼顧高精度力學加載與電學信號傳輸。
力學-溫度控制系統(tǒng):支持高溫條件下的動態(tài)力學性能測試,滿足極*工況下的原位表征需求。
電學控制器:集成電流電壓測試單元,支持自動電流-電壓(I-V)測量、電流-時間(I-t)測量,并具備數(shù)據(jù)自動保存功能。電壓輸出范圍涵蓋普通模式±10V與高壓模式±150V,以適應不同實驗需求。
納米探針操縱系統(tǒng):通過壓電陶瓷驅(qū)動實現(xiàn)探針的高精度操縱,確保探針移動平穩(wěn),實現(xiàn)高分辨原位觀察實驗。
附件包與針尖制備系統(tǒng):提供實驗所需的輔助工具與針尖制備設(shè)備,確保實驗流程的完整性與便捷性。
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