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宮崎科技（廈門(mén)）有限公司
中級(jí)會(huì)員·2年
CRTM-R1晶體薄膜沉積控制器
| 參考價(jià): | ￥ 99999 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- CRTM-R1 產(chǎn)品型號(hào)
- ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科 品牌
- 經(jīng)銷(xiāo)商 廠商性質(zhì)
- 廈門(mén)市 所在地
訪問(wèn)次數(shù)：9更新時(shí)間：2026-06-18 14:37:14
馮女士
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- 福建省廈門(mén)火炬高新區(qū)溪西山尾路67號(hào)軟件園三期C03棟1701-1單元
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 1萬(wàn)-2萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,汽車(chē)及零部件,電氣,綜合 |
產(chǎn)品介紹
日本ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科晶體薄膜沉積控制器，型號(hào)：CRTM-R1
日本ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科晶體薄膜沉積控制器，型號(hào)： CRTM-R1
特色
采用新的測(cè)量方法大大提升了速率穩(wěn)定性。
能力（CI值）測(cè)量提升了晶體板的異常檢測(cè)能力。
憑借出色的膠片厚度和速率分辨率（0.0018? @5MHz），也非常適合低速率沉積控制。
最多可同時(shí)控制8個(gè)沉積。 （添加選項(xiàng)時(shí)）
通信方式支持以太網(wǎng)和RS-232C。
主機(jī)上存儲(chǔ)的各種日志數(shù)據(jù)可以以CSV格式傳輸?shù)経SB。
目的
金屬和光學(xué)薄膜沉積過(guò)程中的薄膜厚度和速率控制
規(guī)格
| 頻率 | 測(cè)量范圍 | 4.00~3.00MHz@4MHz 5.00~3.50MHz@5MHz 6.00~4.50MHz@6MHz |
| 測(cè)量分辨率 | 1 MHz | |
| 表示分辨率 | 1 MHz | |
| 沉積率 | 測(cè)量范圍*1 | 0.000~999.9?/s （0~99.99nm/s） |
| 測(cè)量分辨率*2 | 0.0028?/s @4MHz 0.0018?/s @5MHz 0.0012?/s @6MHz | |
| 表示分辨率*1 | 0.001?/s | |
| 薄膜厚度 | 測(cè)量范圍*1 | 0.000~9999k? （0~999.9μm） |
| 測(cè)量分辨率*2 | 0.0028? @4MHz 0.0018? @5MHz 0.0012? @6MHz | |
| 表示分辨率*1 | 0.001k? | |
| 支持的傳感器頻率 | 4MHz、5MHz、6MHz | |
| 可安裝傳感器數(shù)量（單一） | 2（選項(xiàng)包括MAX8，IF卡：每張卡2張×4張卡） | |
| 可安裝傳感器數(shù)量（多枚） | 2（選項(xiàng)包括MAX8，IF卡：每張卡2張×4張卡） | |
| 采樣率 | 100毫秒 | |
| 車(chē)庫(kù)項(xiàng)目數(shù)量 | 999 | |
| 流程項(xiàng)目數(shù)量 | 99 | |
| 數(shù)字輸入分?jǐn)?shù) | 14張（可選最多56張，DIO卡：每張14分×4張卡牌） | |
| 數(shù)字輸出評(píng)分 | 8（MAX32、DIO卡選項(xiàng)：每張卡8件物品×4張卡牌） | |
| 模擬輸出點(diǎn) | 2張（MAX16選項(xiàng)，IF卡：每張2分×4張卡+AO卡：每張8分×1張卡） | |
| 模擬輸出范圍 | -10~+10V | |
| 溝通方法 | 局域網(wǎng)（以太網(wǎng)）（1000BASE-T/100BASE-TX/10BASE-T） RS-232C USB2.0 Type-B | |
| 外部尺寸（寬度×深度×高度） | CRTM-R1：約480×約320×約130毫米 CTM（-D） 選項(xiàng)：約80×約152×約53毫米 | |
| 重量 kg | CRTM-R1：5.3公斤（最高可選配：5.8公斤） CTM（-D） 選裝：0.6公斤 | |
| 實(shí)用性 | 交流 100~240V±10%，50/60Hz | |
| 最大功耗 | 150W | |
| 兼容保險(xiǎn)絲 | 250V2.5A（2個(gè)5×20毫米） | |
| 知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)等級(jí) | IP20 | |
| 過(guò)電壓類(lèi)別 | 第二類(lèi)。 | |
| 高海拔條件 | 海拔2000米以下 | |
| 污染水平 | 2 | |
| 使用環(huán)境 | 溫度：5~40°C，濕度 ：相對(duì)濕度20~85%（無(wú)冷凝水） 僅限室內(nèi) | |
| 存儲(chǔ)環(huán)境 | 溫度：-10~60°C（無(wú)電，無(wú)冷凝） 濕度 ：相對(duì)濕度20~85%（無(wú)冷凝） | |
| 熱身時(shí)間 | 大約30分鐘 | |
| 兼容規(guī)范 | CE | |
*1：當(dāng)工具=100和密度=1時(shí)的數(shù)值被設(shè)置。
*2：頻率分辨率通過(guò)工具=100和密度=1轉(zhuǎn)換。
期權(quán)介紹
使用CRTM-R1時(shí)，你需要可選的CTM（-D）+電纜組、傳感器和引入法蘭等。
傳統(tǒng)CRTM與新CRTM-R1的速率比較
CRTM-R1 也安靜且穩(wěn)定。
[新CRTM-R1]
[ 傳統(tǒng)CRTM ]
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