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宮崎科技（廈門）有限公司
中級(jí)會(huì)員·2年
ESA25-D高速低功耗干式真空泵
| 參考價(jià): | ￥ 99999 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- ESA25-D 產(chǎn)品型號(hào)
- EBARA/荏原 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 廈門市 所在地
訪問次數(shù)：8更新時(shí)間：2026-06-15 11:55:42
馮女士
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品類型 | 無油泵 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 真空泵 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件 |
干式真空泵是一種不使用油或液體密封的非接觸式真空泵。它們實(shí)現(xiàn)了干凈的真空，沒有水和油的回流或擴(kuò)散。此外，無需定期維護(hù)，如加水或更換水或機(jī)油，操作非常簡(jiǎn)單。它是
半導(dǎo)體制造工藝和FPD/LED/太陽能電池制造過程中的泵，這些工藝強(qiáng)調(diào)清潔性。
產(chǎn)品介紹
EBARA在高速干式真空泵方面的優(yōu)勢(shì)
節(jié)能且緊湊的設(shè)計(jì)。令人安心的全球支持和豐富的產(chǎn)品線
Ebara干式真空泵以節(jié)能和小巧著稱，廣泛應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域。獨(dú)特優(yōu)化的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)提升了壓縮效率，實(shí)現(xiàn)了低功耗。由于其緊湊輕便的設(shè)計(jì)，能夠在有限空間內(nèi)安裝，且易于搬運(yùn)。我們已在全球出貨超過20萬臺(tái)*，活躍于多個(gè)領(lǐng)域，主要集中在半導(dǎo)體行業(yè)，對(duì)性能和可靠性的要求非常嚴(yán)格。
此外，我們?cè)谌驌碛?0多個(gè)維修點(diǎn)，提供可靠的全球支持。您可以選擇我們豐富產(chǎn)品線中最合適的車型，從行業(yè)最高標(biāo)準(zhǔn)的緊湊輕量車型，到氫氣排氣車型，以及兼容產(chǎn)生反應(yīng)性副產(chǎn)品的高負(fù)載兼容車型。
特色與優(yōu)勢(shì)
該干式真空泵適用于中等工藝，配備Ebara獨(dú)特的節(jié)能技術(shù)，采用優(yōu)化自動(dòng)化工廠制造的模塊設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)進(jìn)一步的小型化和節(jié)能。
憑借廣泛的溫度控制能力，它擴(kuò)展了適用的工藝。同一模型可以涵蓋多個(gè)過程;因此，備用機(jī)器庫存可以優(yōu)化，維護(hù)和培訓(xùn)可以減少，流程未來也能靈活擴(kuò)展。此外，通過對(duì)每個(gè)工藝進(jìn)行溫控，工藝電阻也得以提升，并通過延長(zhǎng)零件更換周期來降低TCoO。
適用的應(yīng)用包括各種蝕刻和CVD、灰化、離子注入、外延等。
日本EBARA/荏高速低功耗干式真空泵
日本EBARA/荏高速低功耗干式真空泵
ESA系列
干式真空泵適用于輸送輕質(zhì)氣體如氫氣。非常適合大容量腔體中快速泵送的需求。
用于大容量真空腔體中的快速泵送
有機(jī)溶劑應(yīng)用的可選排氣配置
氫氣及其他輕型汽油泵送
耐腐蝕材料選項(xiàng)
無油
可獲得CE認(rèn)證/半級(jí)S2/NRTL認(rèn)證
特色與優(yōu)勢(shì)
ESA模型產(chǎn)品線包括泵送速度在1,400至10,000升/分鐘之間的型號(hào)，適合輕質(zhì)氣體如氫氣的泵送;以及排氣速度從20,000到80,000升/分鐘的型號(hào)，適合在大容量腔室內(nèi)快速泵送。輕氣體應(yīng)用型號(hào)的泵送速度為10,000升/分鐘及以下，體積小且耐腐蝕性更佳，非常適合大容量輕氣體泵送應(yīng)用，如MO-CVD。較大型號(hào)實(shí)現(xiàn)安靜、低振動(dòng)運(yùn)行，并可選配有機(jī)溶劑應(yīng)用的排氣配置。它們非常適合液晶飛濺設(shè)備、真空干燥工藝和大型負(fù)載鎖應(yīng)用。
類型 單位 ESA15-D ESA25-D ESA25XW ESA70W（-D） ESA70WN（-D） ESA80W-HDF ESA80WN-HDF ESA100W ESA100WN ESA200W ESA300W ESA500W 冷卻水 流量 L/min 3.5~8 3.5~8 7~16 3.5~8 3.5~8 3.5~8 3.5~8 3.5~8 3.5~8 3.5~8 6~9 6~9 溫度 °C 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 電源 額定電壓：50/60 Hz 單相200-240伏
三相 200-240伏允許的電壓波動(dòng) ±10% 功率容量 kVA 6.4 6.4 12.8 10.3 10.3 12.6 12.6 12.6 12.6 12 23.7 41.3 抽水速度 L/min 1,400（50Hz）
1,700（60Hz）2500（50Hz）
3000（60Hz）5,000（50Hz）
6,000（60Hz）7,000（50Hz）
8,400（60Hz）7,000（50Hz）
8,400（60Hz）8,400（50Hz/60Hz） 8,400（50Hz/60Hz） 10,000（50Hz/60Hz） 10,000（50Hz/60Hz） 20,000（50Hz/60Hz） 28,000（50Hz）
30,000（60Hz）47,000（50Hz）
50,000（60Hz）壓力 400（50Hz）
270（60Hz）5.3（50Hz）
4.0（60Hz）5.3（50Hz）
4.0（60Hz）0.27（50Hz）
0.13（60Hz）0.4（50Hz）
0.27（60Hz）0.13 0.27 0.13 0.27 0.53 0.53 1.0 連接 入?？?/td> NW40 NW50 ISO80 NW50 NW50 NW50 NW50 NW50 NW50 NW80 ISO100 ISO160 出口 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW50 極限壓力下的近似功率 千瓦 2.9（50Hz）
3.2（60Hz）2.6（50Hz）
2.9（60Hz）5.2（50Hz）
5.8（60Hz）3.6（50Hz）4.0
（60Hz）3.6（50Hz）4.0
（60Hz）4.2 4.2 4.9 4.9 3.2（50Hz）
3.4（60Hz）6.6（50Hz）
7.3（60Hz）5.1（50Hz）
6.7（60Hz）N2 流量 Pa•m3/s 14~17 （4.6） 17~20 （3.8） 34~40 24~27 （4.7） 24~27 （4.7） 54~57 54~57 54~57 54~45 17~20 （3.8） 7.5~10.5 8.5~11 電源相位/電壓/頻率。 200V型號(hào) 三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz400V型號(hào) 三相/380-400伏/50赫茲
三相/380-440伏/60赫茲三相/380-400伏/50赫茲
三相/380-440伏/60赫茲三相/380-400伏/50赫茲
三相/380-440伏/60赫茲三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/380-400伏/50赫茲
三相/380-440伏/60赫茲三相/380-400伏/50赫茲
三相/380-440伏/60赫茲三相/380-400伏/50赫茲
三相/380-440伏/60赫茲三相/380-400伏/50赫茲
三相/380-440伏/60赫茲三相/380-400伏/50赫茲
三相/380-440伏/60赫茲三相/380-400伏/50赫茲
三相/380-440伏/60赫茲三相/380-400伏/50赫茲
三相/380-440伏/60赫茲三相/380-400伏/50赫茲
三相/380-440伏/60赫茲460V型號(hào) 三相/440伏/50赫茲
三相/440-480伏/60赫茲三相/380-400伏/50赫茲
三相/380-440伏/60赫茲重量 KG 240 240 480 380 380 400 400 400 400 410 700 750
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