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| 參考價(jià): | ¥ 99999 |
| 訂貨量: | 1件 |
- EV-M802N 產(chǎn)品型號(hào)
- EBARA/荏原 品牌
- 經(jīng)銷(xiāo)商 廠商性質(zhì)
- 廈門(mén)市 所在地
訪問(wèn)次數(shù):10更新時(shí)間:2026-06-15 11:07:38
馮女士
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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品類(lèi)型 | 無(wú)油泵 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類(lèi) | 真空泵 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車(chē)及零部件 |
該干式真空泵適用于中等工藝,配備Ebara獨(dú)特的節(jié)能技術(shù),采用優(yōu)化自動(dòng)化工廠制造的模塊設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)進(jìn)一步的小型化和節(jié)能。
憑借廣泛的溫度控制能力,它擴(kuò)展了適用的工藝。同一模型可以涵蓋多個(gè)過(guò)程;因此,備用機(jī)器庫(kù)存可以優(yōu)化,維護(hù)和培訓(xùn)可以減少,流程未來(lái)也能靈活擴(kuò)展。此外,通過(guò)對(duì)每個(gè)工藝進(jìn)行溫控,工藝電阻也得以提升
EBARA在干式真空泵方面的優(yōu)勢(shì)
節(jié)能且緊湊的設(shè)計(jì)。令人安心的全球支持和豐富的產(chǎn)品線
Ebara干式真空泵以節(jié)能和小巧著稱(chēng),廣泛應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域。獨(dú)特優(yōu)化的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)提升了壓縮效率,實(shí)現(xiàn)了低功耗。由于其緊湊輕便的設(shè)計(jì),能夠在有限空間內(nèi)安裝,且易于搬運(yùn)。我們已在全球出貨超過(guò)20萬(wàn)臺(tái)*,活躍于多個(gè)領(lǐng)域,主要集中在半導(dǎo)體行業(yè),對(duì)性能和可靠性的要求非常嚴(yán)格。
此外,我們?cè)谌驌碛?0多個(gè)維修點(diǎn),提供可靠的全球支持。您可以選擇我們豐富產(chǎn)品線中最合適的車(chē)型,從行業(yè)最高標(biāo)準(zhǔn)的緊湊輕量車(chē)型,到氫氣排氣車(chē)型,以及兼容產(chǎn)生反應(yīng)性副產(chǎn)品的高負(fù)載兼容車(chē)型。
特色與優(yōu)勢(shì)
該干式真空泵適用于中等工藝,配備Ebara獨(dú)特的節(jié)能技術(shù),采用優(yōu)化自動(dòng)化工廠制造的模塊設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)進(jìn)一步的小型化和節(jié)能。
憑借廣泛的溫度控制能力,它擴(kuò)展了適用的工藝。同一模型可以涵蓋多個(gè)過(guò)程;因此,備用機(jī)器庫(kù)存可以優(yōu)化,維護(hù)和培訓(xùn)可以減少,流程未來(lái)也能靈活擴(kuò)展。此外,通過(guò)對(duì)每個(gè)工藝進(jìn)行溫控,工藝電阻也得以提升,并通過(guò)延長(zhǎng)零件更換周期來(lái)降低TCoO。
適用的應(yīng)用包括各種蝕刻和CVD、灰化、離子注入、外延等。
日本EBARA/荏原功耗低干式真空泵
日本EBARA/荏原功耗低干式真空泵
EV-M 型號(hào)
干式真空泵,功耗低,適合高負(fù)載應(yīng)用的性能
高負(fù)載應(yīng)用
高溫運(yùn)行控制
低功耗
標(biāo)準(zhǔn)采用耐腐蝕材料
增強(qiáng)耐腐蝕選項(xiàng)
無(wú)論頻率如何(50/60 Hz)泵送性能相同
無(wú)油
可獲得CE認(rèn)證/半級(jí)S2/NRTL認(rèn)證
特色與優(yōu)勢(shì)
憑借EBARA獨(dú)特的耐熱技術(shù),Model EV-M系列專(zhuān)為高負(fù)載應(yīng)用設(shè)計(jì),在半導(dǎo)體、液晶和太陽(yáng)能電池制造過(guò)程中產(chǎn)生大量反應(yīng)副產(chǎn)物。憑借的功耗性能,Model EV-M系列在抗高負(fù)載應(yīng)用與能效間取得了平衡。標(biāo)準(zhǔn)采用堅(jiān)固的防腐蝕材料。還有一款大容量型號(hào),泵送速率為110,000升/分鐘。豐富的產(chǎn)品線滿足各種高負(fù)載應(yīng)用,以匹配工藝條件
規(guī)格
類(lèi)型 單位 EV-M20N EV-M102N EV-M202N EV-M302N EV-M502N EV-M505SF EV-M802N EV-M805SF EV-M1205SF 冷卻水 流量 L/min 3~8 3~8 3.5~8 4~8 5~8 5~8 5~8 5~8 5~8 溫度 °C 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 電源 功率容量 kVA 3.3 5.4 6 6.8 7.1 15.7 8.3 19.4 14.2 抽水速度 L/min 1800 10000 20000 30000 50000 50000 80000 80000 110000 壓力 5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 連接 入海口 NW40 ISO100 ISO100 ISO100 ISO160 ISO160 ISO200 ISO200 ISO200 出口 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 極限壓力下的近似功率 千瓦 1.2 1.8 1.9 2.3 2.1 3.9 2.8 4.6 5.3 N2 流量 Pa•m3/s 26~31 26~31 26~31 26~31 28~33 228 28~33 228 34~35 電源相位/電壓/頻率。 200V型號(hào) 三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz400V型號(hào) 三相/380-400伏/50赫茲
三相/380-440伏/60赫茲三相/380-400伏/50赫茲
三相/380-440伏/60赫茲三相/380-400伏/50赫茲
三相/380-440伏/60赫茲三相/380-400伏/50赫茲
三相/380-440伏/60赫茲三相/380-400伏/50赫茲
三相/380-440伏/60赫茲- 三相/380-400伏/50赫茲
三相/380-440伏/60赫茲三相/380-400伏/50赫茲
三相/380-440伏/60赫茲三相/380-400伏/50赫茲
三相/380-440伏/60赫茲重量 KG 170 320 360 400 500 580 740 820 870



