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宮崎科技（廈門）有限公司
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EV-S20低功耗的風冷干式真空泵
| 參考價: | ￥ 99999 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準- EV-S20 產品型號
- EBARA/荏原 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質
- 廈門市 所在地
訪問次數(shù)：15更新時間：2026-06-15 10:27:24
馮女士
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產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 產品類型 | 無油泵 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 真空泵 |
| 應用領域 | 環(huán)保,能源,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件 |
干式真空泵是一種不使用油或液體密封的非接觸式真空泵。它們實現(xiàn)了清潔的真空，沒有回流或水和油的擴散。此外，無需定期維護，如補充水或更換水或油，操作非常簡便。它是半導體制造工藝和FPD/LED/太陽能電池制造過程中的泵，這些工藝強調清潔性。近年來其應用范圍擴大，因為它能夠輕松、干凈地排出質譜儀和電子顯微鏡等分析儀的氣
產品介紹
EBARA在干式真空泵方面的優(yōu)勢
節(jié)能且緊湊的設計。令人安心的*支持和豐富的產品線
Ebara干式真空泵以節(jié)能和小巧著稱，廣泛應用于多個領域。獨特優(yōu)化的轉子設計提升了壓縮效率，實現(xiàn)了低功耗。由于其緊湊輕便的設計，能夠在有限空間內安裝，且易于搬運。我們已在*出貨超過20萬臺*，活躍于多個領域，主要集中在半導體行業(yè)，對性能和可靠性的要求非常嚴格。
此外，我們在*擁有50多個維修點，提供可靠的*支持。您可以選擇我們豐富產品線中最合適的車型，從行業(yè)最高標準的緊湊輕量車型，到氫氣排氣車型，以及兼容產生反應性副產品的高負載兼容車型。
特色與優(yōu)勢
該干式真空泵適用于中等工藝，配備Ebara獨特的節(jié)能技術，采用優(yōu)化自動化工廠制造的模塊設計，實現(xiàn)進一步的小型化和節(jié)能。
憑借廣泛的溫度控制能力，它擴展了適用的工藝。同一模型可以涵蓋多個過程;因此，備用機器庫存可以優(yōu)化，維護和培訓可以減少，流程未來也能靈活擴展。此外，通過對每個工藝進行溫控，工藝電阻也得以提升，并通過延長零件更換周期來降低TCoO。
適用的應用包括各種蝕刻和CVD、灰化、離子注入、外延等。
日本EBARA/荏原低功耗的風冷干式真空泵
日本EBARA/荏原低功耗的風冷干式真空泵
EV-S 型號
干式真空泵，功耗低，占地面積小
低功耗
緊湊輕便
耐腐蝕材料選項
N2 清除模型選項可選
無論頻率如何（50/60 Hz）泵送性能相同
無油
可獲得CE認證/半級S2/NRTL認證
特色與優(yōu)勢
憑借EBARA獨特的轉子設計和怠速功能，Model EV-S系列實現(xiàn)了能源效率和小巧的占地面積。有助于降低運行成本。憑借增強的耐腐蝕選項，該型號涵蓋從輕載工藝如負載鎖和SEM到腐蝕工藝的廣泛應用。
規(guī)格
類型 單位 EV-S20 EV-S20P/N EV-S30 EV-S30P EV-S50 EV-S50P/N EV-S100 EV-S100P/N EV-S200 EV-S200P/N 冷卻水 流量 L/min 1.5~3.0 1.5~3.0 1.5~3.0 1.5~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0 溫度 °C 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 電源 功率容量 kVA 3.2 3.2 3.6 3.6 4.8 4.8 6.4 6.4 6.8 6.8 抽水速度 L/min 1670 1670 3300 3300 5000 5000 10000 10000 20000 20000 壓力 3 5 0.5 1 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 連接 入海口 NW50 NW50 NW50 NW50 NW50 NW50 NW80 NW80 NW100 NW100 出口 NW25 NW25 NW25 NW25 NW25 NW25 NW25 NW25 NW40 NW40 極限壓力下的近似功率 千瓦 0.4 0.4 0.4 0.4 0.55 0.55 0.65 0.65 0.75 0.75 N2 流量 Pa•m3/s - 17~20（2.4） - 17~20（2.4） 17~20（2.4） 17~20（2.4） 17~20（2.4） 電源相位/電壓/頻率。 200V型號 三相/200-220V，50/60Hz 三相/200-220V，50/60Hz 三相/200-220V，50/60Hz 三相/200-220V，50/60Hz 三相/200-220V，50/60Hz 三相/200-220V，50/60Hz 三相/200-220V，50/60Hz 三相/200-220V，50/60Hz 三相/200-220V，50/60Hz 三相/200-220V，50/60Hz 400V型號 三相/380-440V，50/60Hz 三相/380-440V，50/60Hz - - 三相/380-440V，50/60Hz 三相/380-440V，50/60Hz 三相/380-440V，50/60Hz 三相/380-440V，50/60Hz 三相/380-440V，50/60Hz 三相/380-440V，50/60Hz 重量 KG 60 60 90 90 100 100 120 120 170 170 *規(guī)格僅為示例。具體情況可能因車型而異
*請聯(lián)系我們獲取詳情。
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