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當(dāng)前位置：意塔爾真空科技（東莞）有限公司>>分子泵>>ETR-F系列渦輪分子泵>> ETR-F-81
規(guī)格參數(shù)
| 參數(shù) | 單位 | ETR-F-81 |
|---|---|---|
| 抽速 | L/S | 55 |
| 極限壓強 | pa | <8X10-7 |
| 壓縮比 | / | 104 |
| 入口法蘭 | / | LF63:CF63或其他定制接口 |
| 出口法蘭 | / | KF16 |
| 吹掃口 | / | KF16 |
| 重量 | kg | 3.1 |
| 振動 | um | ≤0.05 |
| 噪聲 | dB | ≤60 |
| 軸承 | / | 脂潤滑陶瓷球軸承 |
| 安裝角度 | / | 任意角度 |
| 冷卻方式 | / | 風(fēng)冷/水冷/自然對流 |
| 建議前級泵 | L/S | 0.5-2 |
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