· 機械結(jié)構(gòu)

運動軸機構(gòu):

• X / Y 軸均為超高性能線性馬達，且內(nèi)置磁力機構(gòu)，配合0.1um光柵尺精確 定位，工字型平衡慣性機構(gòu)，配置80mm厚儀器設(shè)備專用大理石防震臺， 在高速掃描過程中可隔絕振動的影響，可避免圖像因快速掃描而失真；

掃描范圍:

• 最小：1um x 1μm  最大：≥ 320 x 320 mm ；

• 可自定義掃描區(qū)域，可任意輸入或框選掃描面積（正方形，矩形，菱形或客戶任意自繪圖形）；自定義序列掃描，跳過沒有樣品的空白位置；

X 軸掃描速度：

• 可自動尋找被測樣品的中心位置和樣品邊緣尺寸，自動設(shè)定掃描范圍 最大掃描速度1,500mm/秒，平均可用掃描速度1,000mm/秒，速度可調(diào) ± 0.1μm

XY 軸機械重復(fù)定位精度：

• 移動范圍（行程） >105mm；

Z 軸：

• 移動范圍（行程） >105mm；

• 軟件可設(shè)置Z-軸安全距離Z-limit，避免由于誤操作導(dǎo)致探頭撞擊樣品； Z 軸自動對焦zhuanli號：DE102006005449A1；

自動對焦功能：

• 不僅具有表面自動對焦功能，同時還可對樣品內(nèi)部任意界面自動對焦；

• 在用戶需要重復(fù)檢測同一種類樣品時，即使樣品擺放有一定的高度誤差，設(shè)備可以自動對焦到所設(shè)定的界面，操作人員不需要每次掃描前將對焦位置重新校準(zhǔn)，只需要直接掃描即可。

  Z-Staple 層層對焦功能：
  

• Z 軸可逐層自動調(diào)整焦距位置，自動獲得各層面的C-掃描圖像；檢測厚樣品時，逐層自動對焦可設(shè)定步距，Z-軸探頭按設(shè)定的步距（最小1um）從樣品底部開始向上逐層（最多100層）自動掃描，無需人工干預(yù)；

· 電子部分

超聲波接收/發(fā)射器：

• 500MHz 帶寬 (可支持使用 400MHz 頻率探頭)；

換能器（探頭）支持范圍：

• 1MHz-400MHz 不同頻率和焦距可選 , 所有探頭外徑最大不超過15mm 采樣頻率1.25G/Sec, 4G 內(nèi)存，自帶散熱風(fēng)扇；5G采樣頻率可額外選配；

· *ADC 卡

· Winsam 8 操作與分析軟件

主要掃描模式：

A-Scan（點掃描）、B-Scan（縱向掃描）、C-Scan（橫向掃描）、X-Scan （多層斷層C掃描）、多重門限掃描、T-Scan (透射掃描)-選項、High Quality-高清晰掃描、表面跟蹤掃描、Z-Scan實體掃描模式（虛擬再生掃描功能）、多重區(qū)域掃描下包括 托盤矩陣掃描、 Z變換掃描（探測掃描）、順序掃描（序列掃描）、預(yù)掃描、自動掃描、分頻掃描、覆蓋掃描、插值掃描模式等；

A 掃描特點：

• 可以生成多個A波形顯示窗口，并且沒有數(shù)量限制;

• 能夠在一個窗口中同時顯示出10個不同位置的波形情況，便于比較有缺陷位置和正常位置波形的差異；

• A 波形輸出格式： png 圖片格式、 txt 數(shù)據(jù)格式；

• 可根據(jù)需要，隨時改變A掃描的窗口大??；

• 能實現(xiàn)A-Scan Overlay及多點A-Scan記錄；

• 波形顯示窗口提供傅里葉變換FFT的結(jié)果圖像，便于對波形進行分析

B 掃描特點：

• B掃描能夠顯示出樣品縱向切面的實際圖像，而不是虛擬圖像，能夠顯示出器件內(nèi)部剖面實際翹曲情況或缺陷的深度分布；

• 對疑似缺陷位置做B掃描，得到B掃描圖像所需時間不得超過2秒

C 掃描特點：

• 多層C掃描: 掃描層數(shù) >400層, 400張以上不同層C掃描圖像可同時顯示；可獨立設(shè)置不同層面的厚度；

• 可設(shè)置不同深度C掃描窗口，同時進行掃描，并且每個C 掃描的窗口位置，寬度，亮度，對比度，表面跟蹤等都可以單獨設(shè)置，避免越到下層，圖像越暗，分辨率越差的情況的掃描圖像；

C 掃描窗口精確設(shè)置:

C掃描窗口的起始位置和寬度方法精確，不會根據(jù)操作人員的經(jīng)驗隨意設(shè)定，避免操作人員的主觀設(shè)定，便于不同操作人員可得到相同的檢測結(jié)果；

FIR 分頻掃描:

可將探頭的頻帶分割為一個一個窄的頻帶，使用一個探頭，在該探頭的頻率分布帶寬范圍內(nèi)分成許多窄的頻率段分布掃描，從而找出其中可以獲得最高分辨率圖像的最佳的頻段范圍; 可避免重復(fù)購買同一焦距探頭；

Over Scan 覆蓋掃描：

可將被測樣品中不同高度的界面，分別對焦掃描，組合在一個圖像中，實現(xiàn)一個完整的樣品內(nèi)部掃描圖像；

托盤掃描 Tray Scan：

在一個托盤上放置多個相同掃描模塊時，可以設(shè)置二種Tray托盤掃描模式：1）按順序逐個單獨掃描每個模塊，自動跳過未放模塊空置的位置，每個模塊出一張掃描圖像 ；2）連續(xù)掃描整個托盤，可以設(shè)置整個托盤出一張掃描圖像，也可以每個模塊分別出一張圖片；

· Z 掃描（實體掃描）

通過一次性掃描獲得包括 A、B、C、X等掃描模式的所有信號，完成掃描后可以離線獲得樣品內(nèi)任意位置的A、B、C、X等掃描圖像，且樣品掃描后所有點的A波形數(shù)據(jù)可導(dǎo)出txt文件，以便進一步分析和處理；

· 表面跟蹤掃描：

• 表面跟蹤線可以根據(jù)需要隨意上下，左右移動，可任意改變跟蹤范圍，并且可以改變表面跟蹤線所跟蹤的A-掃描正負波形，不僅能解決由于樣品不平造成的圖像不準(zhǔn)確，而且可以通過改變跟蹤A-掃描正負波的形式解決相位檢測中的著色不準(zhǔn)確問題；

• 同時可跟蹤樣品內(nèi)部多個不同界面; 可同時提供3個以上表面跟蹤線，從而消除樣品多重翹曲而造成部分掃描不到的影響，一次性掃描芯片焊接層的圖像；

• 可以選擇跟蹤樣品表面反射波的第一個波或最大的波，從而避免由于樣品表面不平整所帶來雜波的影響;

表面穩(wěn)定功能：

可消除或減弱樣品表面刻字，激光打標(biāo)等對樣品內(nèi)部超聲信號的影響；

圖像分辨率:  

• 最小: 2 x 1像素 最大42,000 x 42,000 像素, 精度最小0.5um/像素;

• 在輸入掃描面積和每個像素的分辨尺寸后，軟件自動計算圖像分辨率;

圖片保存格式：

tiff, bmp, jpeg,或者png;  tiff格式能一鍵存儲保存所有的掃描參數(shù)；

定量測量：

X -Y 長度計算；厚度與距離測量；膠厚測量；可根據(jù)樣品的實際輪廓（ 圓形，矩形，不規(guī)則形）對檢測界面、焊接界面質(zhì)量進行缺陷面積百分比統(tǒng)計分析，樣品掃描后可采用鼠標(biāo)選擇掃描范圍后提供缺陷尺寸列表并輸出報告（可顯示所有孔洞尺寸、面積等信息，分析區(qū)域的孔洞率、最大孔洞尺寸、面積等），點擊列表中任一行可顯示該缺陷在掃描圖像上的 X/Y 區(qū)域，便于進一步分析和定位缺陷；可進行表面平整度測試，顯示樣品表面3D形貌圖并計算高度差異等；

缺陷百分比報告：

缺陷報告可另存為.csv 格式，便于二次編輯；CSV 報告內(nèi)容包括 ：缺陷百分比、 缺陷所占像素點的個數(shù)、缺陷所占面積大小、缺陷的 X、Y坐標(biāo)、缺陷的長度和寬度；

缺陷自動判別功能：

軟件可按預(yù)先設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)，如總著色區(qū)域面積、總著色區(qū)域占比、單個著色區(qū)域面積、單個著色區(qū)域占比等，來自動判定備測器件合格與否；

報告生成：

掃描后自動生成掃描分析報告，報告中包含：最終掃描圖片、各種掃描參數(shù)設(shè)置、樣品的A掃描波形圖；

缺陷著色：

• 自動相位成像；根據(jù)相位翻轉(zhuǎn)原理對缺陷自動著色，256種顏色可供編程選擇；根據(jù)灰度等級手動著色；根據(jù)渡越時間手動著色，根據(jù)厚度變化手動著色（已知材料的阻抗值）

• 可對掃描圖片進行處理，可定義數(shù)個感興趣區(qū)域進行定量分析；感興趣區(qū)域的顏色可由用戶自由設(shè)定，便于進行分層缺陷分析

X/Y軸移動方向：

用戶可自主選擇XY軸移動方向：如 XY軸同時移動，或 X軸/Y軸先動；

探頭回歸方式：

用戶可自主選擇各種探頭回位方式：如探頭在XY方向上都回到Home位置，Z方向上回到最高點、或探頭在XY方向上回到Home位置，Z方向不變、或探頭在Z方向上回到最高點，XY方向不變、或探頭在XYZ方向上都移動到上一次掃描的位置、或探頭在XY反向上移動到上一次掃描的位置，Z不變等多種探頭回位方式；

參數(shù)調(diào)用方式：

用戶可自主選擇以何種方式調(diào)用之前掃描保存的圖片來獲得掃描參數(shù)，如可以調(diào)用之前掃描保存的所有參數(shù)，包括脈沖，掃描位置，Z軸高度等；或只調(diào)用之前保存的脈沖參數(shù)，門限設(shè)置等；或僅調(diào)用之前掃描時探頭的X-Y-Z位置；或僅用來調(diào)用之前掃描時的X-Y位置，但不包括Z等

工控計算機（PC 工作站）：

工控機，基本配置：Intel八核處理器，CPU 3.5GHz，64GB 內(nèi)存，1T硬盤，DVD-RW刻錄光驅(qū)，高速圖像卡，Windows 10-64 位操作系統(tǒng)，USB及網(wǎng)絡(luò)接口，2臺27" 寬屏液晶顯示器，配置防靜電操作臺；

軟件操作界面更改：

軟件操作界面可根據(jù)用戶使用習(xí)慣或?qū)I(yè)術(shù)語，自行命名（中英文切換）；

掃描時間估算:

軟件需具有掃描時間估算，能顯示整體掃描所需時間和剩余掃描所需時間；

菜單設(shè)置批次執(zhí)行:

可由用戶設(shè)置掃描程序，程序中允許包括多個C掃描窗口，多個等間隔C掃描窗口，多個不等間隔C掃描，數(shù)量不受限制，軟件可一次性完成所有所設(shè)定的掃描模式；

存儲及文本功能：

掃描完成可按預(yù)設(shè)路徑自動存儲，無需人工操作；可對檢測圖像添加注釋

系統(tǒng)自我保護功能：

開機后軟件、硬件自檢功能，具有故障或良好狀態(tài)提示；具有Z軸對焦限位保護功能，可避免換能器（探頭）因誤操作與樣品發(fā)生撞擊；

· SAMnalysis IA圖像處理與分析軟件包  

圖像處理，包括圖像增強、濾波、平滑、銳利等常規(guī)的圖像處理功能；渡越時間分析；推拉窗口分析；厚度估計；聲速計算；波形比較分析；三維圖像顯示和分析，對三維圖像任意縮放、旋轉(zhuǎn)，切割等；

設(shè)備電源：

220V±10%， 50Hz, 系統(tǒng)耗電功率不超過 1500W;

推薦選項：

• DTS高分辨率動態(tài)透射掃描單元 : 透射接收探頭焦距可調(diào) 透射接收探頭 15MHz， 25MHz， 40MHz 可供選擇；

• 檢測工裝治具、晶圓治具治具、治具自動出入水機構(gòu)

• Hibert Filter 外置濾波器（適用于110M 以上高頻探頭使用） 可主動消除110M及以上高頻探頭雜波， 提高有用的信號波形的增益 從而使掃描的圖像更清晰；軟件進行外置濾波器的開關(guān)控制，由操作 人員根據(jù)樣品測試情況選擇是否開啟；