# 2026年NIKKATO研磨球案例發(fā)布#

日期：2026年3月18日

時(shí)間：8：30-18：30

北京華卓精科科技股份有限公司（簡稱華卓精科，U-precision）是國內(nèi)光刻機(jī)核心部件領(lǐng)-軍企業(yè)，以超精密測控技術(shù)為核心，是國產(chǎn)半導(dǎo)體裝備 “卡脖子" 突破的標(biāo)-桿公司。

一、工商與基本信息

統(tǒng)一社會(huì)信用代碼：9111010859605245XJ

成立時(shí)間：2012 年 5 月 9 日；經(jīng)營狀態(tài)：存續(xù)

法定代表人：孫國華；實(shí)際控制人：朱煜（清華大學(xué)教授，合計(jì)控制 51.89% 表決權(quán)）

注冊(cè)資本：27,466.9348 萬元（約 2.75 億元）

企業(yè)類型：股份有限公司（非上市、自然人投資 / 控股）

注冊(cè) / 辦公地址：北京市北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)科創(chuàng)十街 19 號(hào)院

二、核心定位與技術(shù)背景

出身：脫胎于清華大學(xué)IC 裝備團(tuán)隊(duì)，是國家高-新-技-術(shù)-企-業(yè)。

核心技術(shù)：超精密測控與納米級(jí)運(yùn)動(dòng)控制，是全-球-第二家、國內(nèi)唯-一掌握光刻機(jī)雙工件臺(tái)核心技術(shù)并實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)的企業(yè)。

行業(yè)地位：國產(chǎn)光刻機(jī)核心部件（雙工件臺(tái)）唯-一供應(yīng)商，服務(wù)上海微電子等國產(chǎn)光刻機(jī)廠商。

三、核心產(chǎn)品與業(yè)務(wù)（按重要性排序）

1. 光刻機(jī)雙工件臺(tái)（核心拳頭產(chǎn)品）

DWS 系列：定位精度1.5nm，運(yùn)動(dòng)偏差＜4.5nm，適配28nm浸沒式光刻機(jī)。

應(yīng)用：上海微電子 28nm 光刻機(jī)核心部件，打破 ASML 壟斷。

價(jià)值：占光刻機(jī)成本10%–20%，是光刻機(jī)三大核心子系統(tǒng)之一。

2. 晶圓鍵合設(shè)備（JB-300）

支持8/12 英寸晶圓鍵合，單價(jià)較外資低約40%。

客戶：中芯國際、長電科技等；2024 年國內(nèi)市占約12%。

3. 激光退火設(shè)備（IGBT 專用）

面向功率器件（IGBT）制造，用于晶圓退火工藝。

4. 其他關(guān)鍵設(shè)備與部件

EFEM/Sorter：晶圓傳輸與分揀系統(tǒng)。

超精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)：面向平板顯示、激光、新能源等。

隔振系統(tǒng)、靜電卡盤、精密測量系統(tǒng)等半導(dǎo)體關(guān)鍵零部件。

四、技術(shù)與研發(fā)實(shí)力

專-利：朱煜團(tuán)隊(duì)擁有200 + 項(xiàng)境內(nèi)專-利、26 項(xiàng)美國專-利。

研發(fā)：依托清華大學(xué)，深度參與國家 02 科技重大專項(xiàng)，技術(shù)與國-際-先-進(jìn)水平差距縮小至10% 以內(nèi)。

客戶：覆蓋中芯國際、長電科技、上海微電子、華虹等國內(nèi)頭部半導(dǎo)體廠商。

五、上市與資本進(jìn)展

IPO 進(jìn)程：科創(chuàng)板 IPO 已獲上交所受理，擬沖刺 “光刻機(jī)第-一股"。

股權(quán)：朱煜直接持股37.81%，為第-一大股東與實(shí)際控制人。

六、經(jīng)營范圍（核心）

技術(shù)開發(fā)、半導(dǎo)體器件專用設(shè)備制造、電子元器件制造；貨物 / 技術(shù)進(jìn)出口；銷售機(jī)械設(shè)備、電子產(chǎn)品等。

華卓精科是國產(chǎn)半導(dǎo)體裝備自主化的核心標(biāo)-桿，尤其在光刻機(jī)雙工件臺(tái)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了從 0 到 1 的突破，是觀察國產(chǎn)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈的關(guān)鍵標(biāo)的。