# 2026年NIKKATO研磨球案例發(fā)布#

日期：2026年3月17日

時間：8：30-18：30

沈陽富創(chuàng)精密設(shè)備股份有限公司（股-票代碼：688409）是國-內(nèi)-領(lǐng)-先、全-球布局的半導(dǎo)體設(shè)備精密金屬零部件龍-頭-企-業(yè)，核心優(yōu)勢在于7nm 制程量產(chǎn)能力與高潔凈、高精密一站式制造工藝。

一、核心工商與上市信息

成立時間：2008 年 6 月 24 日；法定代表人：鄭廣文

注冊地址：遼寧省沈陽市渾南區(qū)飛云路 18 甲 - 1 號

上市情況：2022 年 10 月 10 日于上交所科創(chuàng)板上市

企業(yè)資質(zhì)：國-家-級專精特新 “小巨人"、國-家-級企業(yè)技術(shù)中心、國家 “02 重大專項" 承擔(dān)單位

二、主營業(yè)務(wù)與核心產(chǎn)品

專注半導(dǎo)體設(shè)備精密金屬零部件，產(chǎn)品覆蓋四大類，可滿足 7nm 先-進(jìn)制程要求：

工藝零部件：勻氣盤、氣體噴淋頭、金屬加熱盤、靜電卡盤、腔體內(nèi)襯等（核心產(chǎn)品，打破海外壟斷）

結(jié)構(gòu)零部件：設(shè)備腔體、基板、冷卻板、框架、精密軸類等

模組產(chǎn)品：精密組件、功能模塊等

氣體管路：高潔凈氣體傳輸系統(tǒng)、閥門、接頭、波紋管等

三、核心技術(shù)與制造能力

全鏈條工藝：精密機(jī)械加工、高潔凈表面處理、電子束焊接、特種焊接、真空釬焊、組裝、檢測一站式交付

先-進(jìn)制程：全-球少數(shù)能量產(chǎn)7nm制程半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件的企業(yè)

核心認(rèn)證：60 + 項特種工藝制程認(rèn)證、AWS 焊接認(rèn)證、ISO9001、SEMI S2/S8 等

專-利布局：擁有數(shù)百項專-利，覆蓋材料、焊接、表面處理、精密加工等核心環(huán)節(jié)

四、產(chǎn)能與全-球化布局

四大生產(chǎn)基地：沈陽（總部）、南通、北京、新加坡

海外布局：新加坡工廠通過 ASML 等國際客戶認(rèn)證，美國設(shè)子公司，海外收入占比近 30%

產(chǎn)能規(guī)模：固定資產(chǎn)較上市前大幅增長，具備承接國內(nèi)外大規(guī)模訂單能力

五、客戶與市場地位

核心客戶：直接供應(yīng)應(yīng)用材料、Lam Research、ASML、中微公司、北方華創(chuàng)等全-球半導(dǎo)體設(shè)備龍頭

市場定位：國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件國產(chǎn)替代主力，部分產(chǎn)品（如金屬加熱盤、勻氣盤）市-占-率-領(lǐng)-先