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當(dāng)前位置：鈴田（上海）科技有限公司>>半導(dǎo)體晶圓甩干機(jī)>>KOKUSAN科庫(kù)森>> SPD-180半導(dǎo)體晶圓自轉(zhuǎn)式離心干燥機(jī)Kokusan/科庫(kù)森
產(chǎn)品型號(hào)SPD-180
品 牌Kokusan/科庫(kù)森
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地北京市
更新時(shí)間：2026-06-23 11:53:51瀏覽次數(shù)：15次
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鈴田科技代理日本Kokusan科庫(kù)森晶圓甩干機(jī)
KOKUSAN科庫(kù)6英寸硅片森雙花籃晶圓甩干機(jī)
Kokusan科庫(kù)森4/6/8英寸硅片離心甩干機(jī)
KOKUSAN科庫(kù)森H840SA/SPD-180晶圓甩干機(jī)
日本KOKUSAN科庫(kù)森 H840SA對(duì)向式離心干燥機(jī)
| 價(jià)格區(qū)間 | 30萬(wàn)-50萬(wàn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電氣,綜合 |
|---|---|---|---|
| 品牌 | Kokusan科庫(kù)森 | 品名 | 對(duì)向式離心干燥機(jī) |
| 型號(hào) | SPD-180 | 電源 | AC200V 3φ 50/60Hz 15A |
| 寸法 | 800(寬)×990(深)×1004(高)毫米 蓋開(kāi)時(shí)的高度1528(高)毫米 | 重量 | 110公斤 |
日本KOKUSAN科庫(kù)森（國(guó)産遠(yuǎn)心機(jī)）鈴田上海代理原廠半導(dǎo)體晶圓專用對(duì)向式甩干離心干燥設(shè)備，行業(yè)成熟量產(chǎn)機(jī)型，依靠離心力 + 潔凈氣流協(xié)同完成晶圓表面精密脫水干燥，適配半導(dǎo)體光刻、清洗后工序潔凈制程株式會(huì)社コクサン。KOKUSAN 科庫(kù)森 H840SA 對(duì)向式離心干燥機(jī)，
半導(dǎo)體晶圓自轉(zhuǎn)式離心干燥機(jī)Kokusan/科庫(kù)森、半導(dǎo)體晶圓自轉(zhuǎn)式離心干燥機(jī)Kokusan/科庫(kù)森
KOKUSAN 科庫(kù)森 SPD-180 自轉(zhuǎn)式離心干燥機(jī)（Spin Dryer）
這是一款作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)用晶圓干燥裝置擁有許多實(shí)際經(jīng)驗(yàn)的設(shè)備。
通過(guò)離心力和氣流將工件在清潔的水中切割并干燥。
通過(guò)提升機(jī)構(gòu)，自動(dòng)提升提升架。
| 電源 | AC200V 3φ 50/60Hz 8A |
|---|---|
| 驅(qū)動(dòng)空氣 | 0.3兆帕 (3千克/平方厘米2) |
| 最大處理量 | 8英寸×25枚載體 1載體 |
| ULPA過(guò)濾器 | 有 |
| 離子發(fā)生器 | 有 |
| 控制 | PLC?逆變器 |
| 操作部 | 觸摸屏 |
| 駕駛食譜注冊(cè)數(shù) | 5種類 |
| 轉(zhuǎn)數(shù) | 3,500轉(zhuǎn)/分鐘 (適用于5英寸及以下，6英寸及以上為3,000轉(zhuǎn)/分鐘) |
| 電機(jī) | 逆變器電機(jī) |
| 寸法 | 652(寬)×1135(深)×1080(高)毫米 蓋開(kāi)時(shí)的高度1352(高)毫米 |
| 重量 | 110Kg |
※我們還有8英寸及以下的設(shè)備、手動(dòng)機(jī)、自動(dòng)機(jī)等產(chǎn)品。
在半導(dǎo)體以外的應(yīng)用中，也請(qǐng)隨時(shí)與我們咨詢。
電話咨詢：CHINA區(qū)域一級(jí)代理商鈴田科技（上海）有限公司
載具整體高速自轉(zhuǎn)，依靠強(qiáng)離心力剝離晶圓表面純水、清洗溶劑；
頂部 ULPA 超潔凈風(fēng)循環(huán)，配合離子風(fēng)中和靜電；
密閉腔體排走水汽，杜絕水印、水漬、顆粒吸附，避免晶圓氧化。
單載具設(shè)計(jì)：僅放置 1 個(gè)晶圓花籃，適配中小批量、研發(fā)線、小產(chǎn)線使用
超高轉(zhuǎn)速配置：5 英寸及以下最高 3500rpm，6 英寸及以上 3000rpm，脫水效率遠(yuǎn)高于 H840SA
標(biāo)配潔凈系統(tǒng)：內(nèi)置 ULPA 過(guò)濾器 + 靜電消除離子發(fā)生器，Class100 潔凈級(jí)處理環(huán)境
觸控 PLC 程控：觸摸屏操作，可存儲(chǔ)5 組自定義工藝配方，轉(zhuǎn)速、時(shí)長(zhǎng)、加減速分段可調(diào)
氣密腔體 + 安全聯(lián)鎖：上蓋開(kāi)蓋停機(jī)保護(hù)，防晃動(dòng)失衡報(bào)警，運(yùn)行穩(wěn)定性強(qiáng)
轉(zhuǎn)子快拆結(jié)構(gòu)：花籃托架拆裝便捷，日常維護(hù)、清潔腔體簡(jiǎn)單
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