SR-D01 型激光塵埃粒子計數(shù)器（0.1μm）用于測量潔凈環(huán)境中單位體積空氣內(nèi)的塵埃粒子大小及數(shù)目，最小粒徑檔可達(dá) 0.1μm，可直接檢測潔凈度等級至十級為三十萬級的潔凈環(huán)境。本產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于電子、光學(xué)、化學(xué)、食品、化妝品、醫(yī)藥衛(wèi)生、生物制品、航空航天等部門。
本產(chǎn)品可以配套高壓擴(kuò)散器測試工藝壓縮空氣的潔凈度評價。
粒徑檔 | 0.1μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm、 1.0μm、5.0μm 六個檔位 |
流量 | 28.3L/min |
最大濃度限值 | ≥100,000 個/ L@10%計數(shù)損失 |
測量周期 | 1s~1000s 可調(diào)，默認(rèn) 30s |
0.1μm 粒徑檔計數(shù)效率 | 50±20% |
自凈時間 | ≤10min |
貯存環(huán)境 | 溫度-15℃~60℃，濕度 0~98%（不結(jié)露） |
工作環(huán)境 | 溫度 5℃~35℃，濕度 20~95%（不結(jié)露） |
通訊模式 | RS232通訊 |
電源 | 鋰電池續(xù)航時間約 3h（適配器接 220V 交流） |
數(shù)據(jù)存儲 | 至少 10000 組數(shù)據(jù)記錄 |
外殼 | 304 不銹鋼 |
配套高壓擴(kuò)散器做壓縮空氣的潔凈度測試
超凈間環(huán)境潔凈度測試
SR-D01與美國TSI0.1um塵埃粒子計數(shù)器對比曲線圖
在半導(dǎo)體光刻、生物醫(yī)藥無菌灌裝、精密光學(xué)鍍膜等制造領(lǐng)域，一顆0.1微米的隱形顆粒，就可能引發(fā)產(chǎn)品良率崩塌、批次報廢甚至安全事故。過去，能精準(zhǔn)捕捉0.1微米粒子的設(shè)備幾乎被進(jìn)口品牌壟斷，高昂的價格、繁瑣的維護(hù)讓許多企業(yè)望而卻步。如今，廣東鑠瑞科技有限公司憑借深厚技術(shù)積累，推出SR-D01型激光塵埃粒子計數(shù)器，以0.1μm真實檢測下限 + 28.3L/min大流量采樣 + 全粒徑檔位覆蓋，讓高精度潔凈檢測變得觸手可及。
SR-D01最小粒徑檔位低至0.1μm，相比常規(guī)0.3μm起測的儀器，它能發(fā)現(xiàn)更隱蔽的超微污染源。無論是光刻膠顆粒、細(xì)菌載體，還是工藝氣體中的微量雜質(zhì)，都無處遁形。更關(guān)鍵的是，它提供六個粒徑檔位（0.1μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm、1.0μm、5.0μm），既能看清納米級的“敵人"，又能兼顧常規(guī)ISO等級判定，一機(jī)滿足從十級到三十萬級潔凈環(huán)境的全范圍檢測需求。
流量是粒子計數(shù)器的核心參數(shù)。SR-D01采用28.3L/min（1CFM）大流量氣路設(shè)計，相比2.83L/min的小流量設(shè)備，采樣效率提升10倍——在相同時間內(nèi)捕獲更多粒子，顯著降低統(tǒng)計誤差，尤其適用于等級較高、粒子濃度極低的十級或百級潔凈室。同時，大流量能更快完成單點采樣，提升巡檢效率，降低生產(chǎn)線的等待時間。
很多潔凈事故的元兇不是室內(nèi)環(huán)境，而是管道內(nèi)攜帶油水、塵埃的壓縮空氣。SR-D01可配套高壓擴(kuò)散器，直接對壓縮空氣管路進(jìn)行等動力采樣，精準(zhǔn)評價工藝用氣的潔凈度等級，為氣動設(shè)備、吹掃工序加上一道“保險"。從電子廠的光刻氣路到藥廠的灌裝用氣，SR-D01都能提供可靠數(shù)據(jù)支撐。
進(jìn)口0.1μm粒子計數(shù)器往往價格數(shù)倍于國產(chǎn)設(shè)備。鑠瑞科技敢于亮出硬實力——SR-D01與美國TSI 0.1μm塵埃粒子計數(shù)器進(jìn)行平行對比測試（見下方趨勢圖），兩者在不同粒徑檔位的計數(shù)結(jié)果高度吻合，曲線幾乎重疊。這意味著，SR-D01已具備與國際同臺競技的能力。此外，產(chǎn)品送檢中國計量科學(xué)研究院，獲得校準(zhǔn)報告，每一臺出廠設(shè)備均可溯源至國家基準(zhǔn)，無懼各類GMP、ISO14644、GB/T 16292等法規(guī)審核。
304不銹鋼外殼，抗腐蝕、易清潔，滿足制藥、食品等行業(yè)的潔凈室材質(zhì)要求。
自凈時間≤10分鐘，快速恢復(fù)待測狀態(tài)，避免交叉污染。
超大存儲（≥10000組數(shù)據(jù)） + RS232通訊，便于數(shù)據(jù)追溯與系統(tǒng)集成。
可調(diào)測量周期（1s~1000s），靈活適應(yīng)不同濃度場景。
鋰電池續(xù)航約3小時，兼顧便攜性與持續(xù)作業(yè)需求。
半導(dǎo)體與面板：光刻區(qū)、刻蝕區(qū)、黃光區(qū)的0.1μm級控塵
生物制藥：GMP無菌灌裝線、隔離器、凍干機(jī)進(jìn)出口檢漏
精密光學(xué)/航天：鍍膜前基片潔凈度驗證
食品/化妝品：灌裝車間、包裝車間潔凈度日常監(jiān)測
醫(yī)院/疾控：潔凈手術(shù)室、ICU、實驗室空氣質(zhì)量控制
SR-D01送檢中國計量科學(xué)研究院報告
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