二、超純水系統(tǒng)的核心純化工藝 現(xiàn)代超純水系統(tǒng)通常采用多級純化工藝,構(gòu)建完整的水質(zhì)保障體系。以Milli-Q IQ 7000為例,其采用四級純化工藝。第一級為預(yù)處理單元,通過復(fù)合濾芯(包含聚丙烯纖維與活性炭)去除自來水中的顆粒物(粒徑>5μm)、余氯(去除率>99%)與部分有機物,避免后續(xù)純化單元被污染。第二級為反滲透(RO)單元,采用低能耗RO膜,在0.4MPa操作壓力下,脫鹽率達到98%以上,可去除水中90%以上的離子(如Na?、Cl?、Ca²?)與大分子有機物(分子量>200Da)。
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