將共聚焦顯微鏡的層析能力與干涉儀的高垂直測量精度相結(jié)合，形成了共聚焦干涉測量技術(shù)。視芯光學T100作為一款國產(chǎn)共聚焦干涉儀，在一個系統(tǒng)內(nèi)融合了這兩種技術(shù)的特性，旨在拓寬儀器的應用范圍并提升測量的適應性。
在測量實踐中，不同的樣品表面可能適合不同的光學測量方法。對于光滑、連續(xù)、反射性較好的表面，白光干涉模式通常能快速、高精度地獲取大面積的三維形貌。而對于粗糙、陡峭、散射較強的表面，共聚焦掃描模式可能更有助于獲得清晰的表面圖像。T100允許用戶在同一臺設備上，根據(jù)待測區(qū)域的特性，自由選擇或組合使用這兩種測量原理。
例如，在測量一個既有大面積平坦區(qū)域又有深窄溝槽的樣品時，用戶可以先使用白光干涉模式快速測量平坦區(qū)域，再切換到共聚焦模式對干涉光難以到達的溝槽底部進行掃描測量，最后在軟件中將數(shù)據(jù)融合，得到更完整的表面形貌。這種靈活性有助于應對復雜工業(yè)零件的檢測需求。
T100系統(tǒng)在設計上需要考慮兩種模式光路的精密切換與校準，以確保測量數(shù)據(jù)在同一個坐標系下的準確性。其軟件算法也需要能夠處理來自不同原理的數(shù)據(jù)并進行融合分析。這要求設備具有穩(wěn)定的機械結(jié)構(gòu)和智能化的校準流程。
這種二合一的設計理念，旨在幫助用戶減少在不同設備間轉(zhuǎn)移樣品、重新對位的時間，在一個平臺上完成更多種類的測量任務。對于研發(fā)實驗室或質(zhì)檢部門而言，這有助于提高設備使用效率，節(jié)省空間和成本。視芯光學T100通過整合共聚焦與干涉技術(shù)，努力為國內(nèi)用戶提供一種功能集成度較高的表面測量方案選擇。
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