共聚焦顯微鏡技術通過引入針孔,有效抑制了非焦平面的雜散光,從而獲得了比傳統(tǒng)光學顯微鏡更佳的橫向分辨率和光學層析能力。視芯光學T100集成了共聚焦顯微鏡功能,為用戶提供了一種觀察和分析樣品表面及一定深度內微觀結構的手段。
T100的共聚焦模式通常采用激光作為光源,通過高精度掃描振鏡對樣品進行逐點掃描,探測器同步接收反射光信號,逐點構建出二維圖像。通過垂直方向步進掃描,可以獲取一系列不同深度的光學切片,進而合成三維立體圖像。這種技術對表面粗糙、有復雜紋理或微弱反差的樣品成像有一定幫助。
除了基本的形貌觀察,T100的共聚焦系統(tǒng)還可能擴展出更多功能。例如,通過配備不同的熒光濾光片組,可以用于觀察材料的自發(fā)熒光或經熒光標記后的特定結構,這在生物材料、高分子材料等領域有應用潛力。此外,配合拉曼光譜模塊(若支持),還能在獲取形貌信息的同時,得到樣品微區(qū)的化學成分信息,實現(xiàn)形貌與成分的關聯(lián)分析。
在電子封裝行業(yè),T100可用于檢查焊球高度、封裝膠體形貌、引線鍵合狀況;在MEMS(微機電系統(tǒng))領域,可用于觀測微結構的形貌與尺寸;在地質研究里,可用于分析礦物顆粒的表面特征。其非接觸、高分辨的成像特點,使得它在不破壞樣品的前提下,能提供豐富的微觀信息。
視芯光學T100將共聚焦顯微鏡功能集成在一個平臺上,與白光干涉儀等功能互為補充,為用戶提供了根據(jù)樣品特性和檢測目的靈活選擇測量模式的可能。其軟件通常能夠統(tǒng)一管理不同模式下的數(shù)據(jù),方便進行對比與綜合分析,致力于成為一個多功能的表面分析工作站。