東京精密E-TS-1072B重復精度標定方法
閱讀:1418 發(fā)布時間:2021-10-9
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1.在G1?G2接觸子間放入微動臺。
2.先移動G1接觸子、控制部表示値為行程量的一半
(-210~-220μm)時固定接觸子。
3.接著移動G2接觸子、控制部表示値為0μm時固定接觸子。
4.G1接觸子與微動臺間放入1mm的厚度工具、取出后確認控制部表示値。
?。担玻矗?/span>的作業(yè)重復25次、最大値與最小値的差在0.5μm以內。
?。叮?/span>G2側與G1側相同確認重復精度。
7.G1側或G2側任一重復精度超過0.5μm時需再調整,重復[1.]~[6.]的作業(yè)。在范圍內時進行接下來的檢查。
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