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BX3M保留了常規(guī)顯微鏡檢查的傳統(tǒng)襯度對比法，比如明場、暗場、偏光和微分干涉。隨著新材料的發(fā)展，現(xiàn)在可以使用良好的顯微鏡檢查技術(shù)來進行更和更可靠的檢查，從而解決了以往很多使用傳統(tǒng)襯度對比法檢查時遇到的缺陷檢測方面的困難。
3.1 MIX組合式觀察：讓以往看不見的圖像顯示出來
BX3M的MIX組合式觀察技術(shù)組合了明場和暗場照明方法。MIX組合式照明滑塊中的LED光源，以定向暗場光線照射樣品，這種方式類似于傳統(tǒng)暗場照明，但又具有更大的靈活性。這種明場與定向暗場的組合稱為MIX組合式照明，對突出顯示缺陷和區(qū)分隆起與凹陷表面很有用處。