二手SEM掃描電子顯微鏡SU3500所具備的新型的模擬圖像和改進后的電子光學(xué)系統(tǒng)以及圖像顯示算法使之能夠在低加速電壓下獲得更高的分辨率。3KV電壓時，SE圖像可達(dá)7nm,5KV電壓時，BSE圖像可達(dá)10nm。最新開發(fā)的自動多級電子槍偏壓機構(gòu)能夠在不降低電子束大小的情況下，在一定范圍內(nèi)的常用加速電壓下增加發(fā)射電流。因此，此款產(chǎn)品與S-3400N相比，噪音得以大幅減少，成像更加清晰。
二手SEM掃描電子顯微鏡日立高新高畫質(zhì)的鎢燈絲掃描電鏡SU3500, 圖象質(zhì)量更進一步。
日立高新鎢燈絲掃描電鏡SU3500具有實現(xiàn)了“3kV加速電壓7nm分辨率"的全新電子光學(xué)系統(tǒng), 可實現(xiàn)實時立體成像的“實時立體觀察功能"＊1, 以及更高檢測效率的 “UVD超高靈敏度可變壓力檢測器
特點
低加速電壓觀察時分辨率更高，可更好地觀察樣品最表面的細(xì)微形狀和更有效地降低樣品的損壞
全新設(shè)計的電子光學(xué)系統(tǒng)和信號處理技術(shù)實現(xiàn)了高速掃描和低噪音的觀察
和以前的常規(guī)掃描電子顯微鏡相比，自動功能縮短。
具有在低真空時可以非常好地觀察樣品最表面的細(xì)微形狀的“UVD（超高靈敏度可變壓力探測器）
具有實現(xiàn)了實時立體成像的“實時立體觀察功能
（*1）：自選
（*2）：和日立SEM S-3400N相比
（*3）：根據(jù)觀察條件的不同，時間會有變動
（*4）：自選
二手SEM掃描電子顯微鏡規(guī)格
項目 | 描述 |
| 二次電子分辨率 | 3.0nm（加速電壓=30kV，WD=5mm高真空模式） |
| 7.0nm（加速電壓=3kV，WD=5mm高真空模式） |
| 背散射電子分辨率 | 4.0nm（加速電壓=30kV，WD=5mm低真空模式） |
| 10.0nm（加速電壓=5kV，WD=5mm高真空模式） |
| 放大倍率 | 5 - 300,000倍（底片倍率＊5） |
| 7 - 800,000倍（顯示器顯示倍率＊6） |
| 加速電壓 | 0.3 - 30kV |
| 可變壓力范圍 | 6 - 650Pa |
| 最大樣品尺寸 | 直徑 200mm |
| 樣品臺 | X | 0 - 100mm |
| Y | 0 - 50mm |
| Z | 5 - 65mm |
| R | 360° |
| T | -20° - 90° |
| 可觀察區(qū)域 | 直徑 130mm （旋轉(zhuǎn)并用） |
| 最大樣品高度 | 80mm（WD=10mm） |
| 馬達(dá)臺 | 5軸標(biāo)配 |
| 電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子槍 | 預(yù)對中的鎢燈絲 |
| 物鏡光闌 | 4孔可動光闌 |
| 探檢測器 | 埃弗哈特 索恩利 二次電子探測器 |
| 高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測器 |
| EDX分析 WD | 10mm（取出角35°） |
| 圖像顯示 | 操作系統(tǒng) | Windows® 7＊7（如有更改，恕不另行通知） |
| 圖像顯示模式 | 全屏模式（1,280 × 960 像素） |
| 小屏模式（800 × 600 像素） |
| 雙圖像顯示（800 × 600 像素） |
| 四屏幕顯示（640 × 480像素） |
| 信號混合模式 |
| 排氣系統(tǒng) | 操作 | 全自動排氣 |
| 渦輪分子泵 | 210升/秒 × 1 |
| 機械泵 | 135L/min（162L/min，60Hz）× 1 |
1.成像功能
SU3500日立掃描電子顯微鏡所具備的新型的模擬圖像和改進后的電子光學(xué)系統(tǒng)以及圖像顯示算法使之能夠在低加速電壓下獲得更高的分辨率。3KV電壓時，SE圖像可達(dá)7nm,5KV電壓時，BSE圖像可達(dá)10nm。開發(fā)的自動多級電子槍偏壓機構(gòu)能夠在不降低電子束大小的情況下，在一定范圍內(nèi)的常用加速電壓下增加發(fā)射電流。因此，此款產(chǎn)品與S-3400N相比，噪音得以大幅減少，成像更加清晰。
通過SU3500的開發(fā)并優(yōu)化過的圖像處理方法，現(xiàn)在可以很容易地在快速掃描模式下觀察到低噪聲的圖像。高速自動聚焦控制(AFC)和自動亮度及對比度控制(ABCC)的增強，使您可以縮短*2SEM(掃描電子顯微鏡)的觀察循環(huán)時間(TAT)
2.低真空功能操作的優(yōu)異性
新設(shè)計的真空程序使真空范圍可以達(dá)到6-650Pa,實時真空反饋允許在用戶特定的壓力設(shè)定下保持樣品室的快速的真空穩(wěn)定性。在低真空模式下直接觀察更清晰。
SU3500日立掃描電子顯微鏡具有一個可變壓力模式，允許對處于自然狀態(tài)下的潮濕，油膩和非導(dǎo)電樣品進行觀察。由于正電離子是電子束撞擊殘余氣體分子的結(jié)果，所以不需要進行傳統(tǒng)的樣品前處理，比如干燥和金屬鍍層。
新開發(fā)的超高靈敏度可變壓力探測器得以進一步優(yōu)化，特別是在可變壓力模式下觀察超薄表面的微觀結(jié)構(gòu)方面。通過同時觀察從標(biāo)準(zhǔn)BSE探測器得到的組成圖像，使得在多種應(yīng)用下進行的各種各樣的分析都成為可能。振木以銅礦物、樹脂填料、水虱等圖像為例真實的再現(xiàn)了SU3500的這項功能。
