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緩壓真空隔斷閥體 KITZ 北澤 IVB_V 氣動閥

緩壓真空隔斷閥體 KITZ 北澤 IVB_V 氣動閥

（一）產品規(guī)格參數板塊

IVB_V 慢排氣真空隔離閥閥體基材選用 SUS304 不銹鋼一體加工成型，波紋管密封件采用 SUS316L 不銹鋼精密成型，主流通徑覆蓋 25A、40A 兩類標準真空規(guī)格，連接端口配備 NW 卡箍法蘭、CF 超高真空法蘭、VF 工業(yè)真空法蘭多種標準結構，可匹配各類真空腔體管路裝配需求。旁路緩壓單元分為固定流量、手動可調流量兩種版本，旁路密封基材選用耐蝕氟橡膠，適配惰性、輕度腐蝕工藝氣相介質。極限耐受真空度可達 1×10??Pa 絕對壓力，額定承壓上限 0.2MPa，外部環(huán)境適用溫度區(qū)間 - 15℃至 100℃，介質無加熱工況下使用溫度與環(huán)境溫度同步。氣動驅動采用雙作用 DA 執(zhí)行機構，氣源適配壓力 0.4 至 0.7MPa，區(qū)分常閉安全型基礎結構，出廠完成高真空氦檢檢漏、無塵脫脂清洗工序，波紋管往復啟閉循環(huán)耐久可達百萬次級別，整套閥體流道經過低阻力優(yōu)化，真空抽導性能穩(wěn)定。

（二）一體化慢排氣結構與材質設計板塊

IVB_V 核心差異化設計為主閥與慢排氣旁路集成式一體化結構，無需額外加裝獨立旁路管路、轉接接頭，簡化整套真空系統(tǒng)機械布局，減少接頭帶來的泄漏隱患。閥體采用 L 型角式流道布局，流體轉向平順，降低真空抽氣阻力，核心隔斷密封依靠一體式不銹鋼波紋管結構，波紋管隔離真空介質腔體與上部氣動驅動機構，摒棄填料密封結構，從根源杜絕真空環(huán)境微量外漏問題。旁路緩壓通道獨立布設，可提前導通實現腔體內外壓差平緩中和，避免主閥瞬間開啟時高速氣流沖刷腔體內部元件；旁路調節(jié)旋鈕搭載機械鎖止結構，設定緩壓流量后參數可長期保持穩(wěn)定。全部接觸真空介質零部件在無塵潔凈車間完成精加工、多級溶劑脫脂、超純水漂洗與真空無塵封裝，不銹鋼波紋管具備優(yōu)異抗形變疲勞性能，氟橡膠旁路閥座耐氣體腐蝕、低脫氣，內壁低粗糙度處理控制管路微粒析出，適配高潔凈真空制程標準。

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